Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Interface module for 8250 #293587301 zu verkaufen

ID: 293587301
Wafergröße: 6"
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EATON NOVA/AXCELIS 8250 Ion Implanter & Monitor ist ein computergesteuertes Gerät, das Ionen in ein Substrat liefern soll, um die Eigenschaften von Materialien und Komponenten zu verbessern. AXCELIS 8250 besteht aus drei Hauptkomponenten: dem Ionenimplantierer, dem Monitor und dem Controller. Der Ionenimplantator ist für die Versorgung der benötigten Ionenstrahlströme und Strahlqualitäten am Substrat verantwortlich. Dies wird durch den Einsatz einer Hochvakuumumgebung, Feldemissionskanonen und Massenspektrometern erreicht. Der Monitor wird dann verwendet, um die Leistung des Ionenstrahls zu überwachen, indem er Strahlstrom, Energie und dessen Verteilung über das Substrat aufzeichnet. Schließlich ist die Steuerung eine integrierte Ausrüstung, die die Kontrolle über den Ionenimplantator, Monitor und die verschiedenen Sicherheitssysteme bietet. Im Zentrum von EATON NOVA 8250 steht eine hochenergetische Strahllinie, die Ionen auf das erforderliche Energieniveau beschleunigt und zum Substrat leitet. Dies geschieht über eine Hochspannungsversorgung, die Strahlstrom, Energie und deren Verteilung steuert. Darüber hinaus wird eine Hochvakuumumgebung aufrechterhalten, um Schäden an den Ionen durch Oberflächenverunreinigungen zu verhindern. Um die Wirksamkeit von 8250 weiter zu verbessern, kann es mit einem Sekundärelektronen-Multiplizierer ausgestattet werden, der eine größere Kontrolle über den Strahlstrom und die Energieverteilung bietet. Zusätzlich werden Ionenfangmagnete zur Strahlrichtung verwendet, während eine Halogenlampe zur Erzeugung eines optimalen Strahlprofils verwendet wird. EATON NOVA/AXCELIS 8250 ist auch mit einer Reihe von Hilfssystemen und Geräten ausgestattet, wie einem Ionenquellen-Vorinjektor, einer Induktionsbogenkammer und einem Ionenstrahl-Monitor. Der Ionenquellen-Vorinjektor wird verwendet, um den Ionenstrahl vor seiner Injektion in die Implantatkammer vorzubereiten. Die Induktionsbogenkammer dient zur Verbesserung des Strahlprofils, während der Ionenstrahl-Monitor zur Detektion von Strahlunterbrechungen verwendet wird. AXCELIS 8250 ist auch mit einem unabhängigen Sicherheitssystem ausgestattet, das eine Videoanzeige und eine Audioalarmeinheit sowie einen Leistungsschalter umfasst, um den Strom im Notfall abzuschalten. Abschließend ist EATON NOVA 8250 Ion Implanter & Monitor ein fortschrittliches Gerät, das verwendet wird, um die Eigenschaften von Materialien und Komponenten zu verbessern, indem Ionen in ein Substrat implantiert werden. 8250 ist mit einer Hochvakuumumgebung und einer Reihe von Komponenten wie Feldemissionskanonen, Massenspektrometern und Induktionsbogenkammern ausgestattet und wird durch eine Sicherheitsmaschine für zusätzliche Sicherheit weiter verbessert. Darüber hinaus geben erweiterte Steuerungsfunktionen Benutzern die Macht, die Leistung des Geräts genau zu steuern, so dass sie verbesserte Ergebnisse erzielen können.
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