Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #9199861 zu verkaufen

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EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160
Verkauft
ID: 9199861
Ion Implanter.
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160 ist ein Hochspannungsimplantierer und -monitor, der für moderne Ionenimplantationsanforderungen entwickelt wurde. Das Gerät ist bis zu 10 kV betriebsbereit und hat einen Strombereich von bis zu 160 mA. Es verfügt über ein integriertes digitales Display, mit dem Parameter wie Dosis, Strom, Spannung und Zeit überwacht und gesteuert werden können. AXCELIS NV10-160 verfügt über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche. Diese Schnittstelle ermöglicht es Benutzern, Systemparameter mithilfe einfacher Menüs einfach einzurichten, zu überwachen und anzupassen. Es ermöglicht auch die Datenerfassung, Überwachung und Aufzeichnung von Implantatläufen, mit der Fähigkeit, frühere Parameter für einfache Einrichtung und Wiederholbarkeit schnell zurückzurufen. Darüber hinaus kann die Schnittstelle für bestimmte Anwendungen oder Prozessrezepte angepasst werden. EATON NOVA NV 10160 enthält auch eine Multi-Energie-Implantatquelle, die mehrere Energieniveaus in einem Spannungszyklus ermöglicht. Dies ermöglicht eine qualitativ hochwertigere Implantation mit weniger Energieschwankungen. Das Gerät bietet auch eine breite Palette von Energie-Spread und Targeted Implant Profile für verbesserte Kontrolle, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. AXCELIS NV 10-160 ist in der Lage, eine breite Palette von Wafern, Substraten und Werkzeugen zu unterstützen. Dies ermöglicht die Implantation einer Reihe von Komponenten, darunter Speicherchips, logische ICs, MEMS, MEMS-RF-Komponenten und andere Gatestrukturen. Die Maschine bietet eine Reihe von Masken und Kollimatoren, die verwendet werden können, um den Ionenstrom zu fokussieren, und bietet eine höhere Genauigkeit gegenüber gleichmäßiger Implantation. Neben seinen unglaublich flexiblen Einsatzmöglichkeiten verfügt NV10-160 auch über einen Tieftemperaturbetrieb und eine Abblendstromfähigkeit. Dies ermöglicht anspruchsvollere, ultrapräzise Implantate und reduziert gleichzeitig Drift- und thermische Belastungseffekte auf das Substrat. Darüber hinaus nutzt das Tool fortschrittliche Sicherheitsfunktionen und automatisierte Alarme, um die Integrität des Implantatprozesses zu überwachen und zu schützen. Insgesamt ist EATON NOVA/AXCELIS NV10-160 ein hochwertiger Ionenimplantator und -monitor für höchste Präzision und Flexibilität. Seine intuitive Touchscreen-Schnittstelle, Multi-Energie-Implantatquelle, Genauigkeit, Niedertemperaturbetrieb und Sicherheitsmaßnahmen machen es zu einer idealen Wahl für jede Implantation von Speicherchips bis hin zu MEMS-RF-Komponenten.
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