Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 10-80 #9183991 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
![EATON NOVA / AXCELIS NV 10-80 Foto Verwendet EATON NOVA / AXCELIS NV 10-80 Zum Verkauf](https://cdn.caeonline.com/images/eaton-nova-axcelis_nv-10-80_795964.jpg)
![Loading](/img/loader.gif)
Verkauft
ID: 9183991
High current ion implanter
Standard beam controller
Kaiser HVPS
Bernas ion source
With AT4 autoloader (*non-functional)
Includes data flow option
SDS and high pressure (SDS B11 and PH3)
High pressure Ar
6” Clampless (150 mm Set up)
Vac exchange arm
(2) Disks
80 KeV Max
Kaiser high voltage power supply
Vaporizer: Yes
Cryo pumps: (2) CTI 8 standard + compressors
(4) Gas high pressures
Disk exchange arm type: Vacuum
Analyzer power supply: EMI Type
Pumps: (2) LEYBOLD D40 B (RP3, 4)
Electronics (CPU Software / PCB Type):
Vac controller: VAC 733 (101 MB)
Dose controller: 796 Rev. E (101 MB)
AMU Controller: AMU618 C (101 MB).
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-80 ist ein Ionenimplantator und -monitor, der entwickelt wurde, um eine zuverlässige und genaue gepulste Ionenimplantation bereitzustellen. Es verfügt über ein patentiertes, optimiertes Beamline-Design mit Automatisierung und Präzisionssteuerung. Das Gerät verfügt über ein fortschrittliches Strahlsteuerungsmodul und eine Prozesssteuerungssoftware, die die effiziente Gasstromregelung, Verdrängungsregelung und Strahlstromregelung für unterschiedliche Prozessbedingungen ermöglicht. Das System verfügt zudem über ein kompaktes, platzsparendes Design, das die Installation und Einrichtung aus der Box ermöglicht. AXCELIS NV 10-80 liefert aufgrund seiner überlegenen Strahlcharakteristik, wie Pulsrate, Pulsform, Pulsdauer und Pulsstrom, eine überlegene Ionenimplantationsleistung. Es hat eine sehr hohe Implantationseffizienz, die die Menge an nicht implantierten Ionen im Wafer reduzieren und somit die Ausbeute erhöhen und die Kosten senken kann. Das Gerät verfügt auch über proprietäre Echtzeit-Implantate Selbstdiagnose-Funktion, die Strahlungleichförmigkeiten vor oder während der Implantation erkennen können. EATON NOVA NV 1080 verfügt über voll integrierte Überwachungs-, Mess- und Steuerungsfunktionen. Das Monitor-Panel der Maschine zeigt alle wichtigen Informationen, einschließlich Geschwindigkeit, Druck, Dosis, Strom und Implantat Position. Das Werkzeug verfügt auch über automatisierte Kammer-, Strahl- und Wafer-Scanfunktionen sowie Wafer-Rotations-, Fokussierungs- und Ausrichtungsfunktionen. Dadurch können die Anwender die Implantationsdosis präzise steuern und Strahlparameter optimieren. NV 10-80 ist einfach und flexibel zu bedienen, und es kann von Betreibern verwendet werden, die eine breite Palette von Erfahrungsniveaus haben. Es ist eine kostengünstige Lösung für die Produktion mit einer hohen Prozesssteuerbarkeit, Produktivität und Ausbeute für mittel- bis großvolumige Anwendungen. Die Anlage ist auch einfach zu warten und kann langfristige Zuverlässigkeit bieten. AXCELIS NV 1080 wurde entwickelt, um die höchsten Sicherheits- und Qualitätsstandards zu erfüllen und kann hohe Leistung über längere Zeiträume aufrechterhalten. Es ist HAS-konform und wurde entwickelt, um den härtesten Industriestandard zu erfüllen, wenn es um Qualität, Sicherheit und Zuverlässigkeit geht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor