Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 3206 #9105737 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV 3206 Ion Implanter and Monitor ist eine Mittelkapazität-Ausrüstung für hochpräzise Ionenimplantation und Halbleiterbauelementherstellung. Es verfügt über einen Tandem Mass Analyzer, eine patentierte „Drei-Fenster“ -Technologie, die Implantatgenauigkeit und Wiederholbarkeit vom Substrat zum Substrat gewährleistet. Der Monitor bietet eine breite Palette von Implantationsraten mit bis zu vier Strahlen, die gleichzeitig für die hochpräzise Platzierung jeder Art von implantierbarem Material arbeiten können. AXCELIS NV 3206 ist ideal für die Herstellung von Halbleiterelementen, einschließlich elektronischer und photonischer Bauelemente, sowie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS). Es wird mit der quadratisch gemachten Balkenstromschätzung von 1.000 Ampere pro Zentimeter und einer implanter Dosisratenfähigkeit zum Quadrat von bis zu 90 Mikroampere pro Zentimeter mit einer Massenpräzision von weniger als 1 Teil pro Million ausgestattet. Die computergesteuerte Benutzeroberfläche des Geräts ermöglicht präzise benutzerdefinierte Implantatprogramme, die Implantationsparameter wie Dosis, Energie, Frequenz und Spotgröße enthalten. Das System umfasst auch eine Ionenstrahlextraktionseinheit, die entwickelt wurde, um Hintergrundpartikelzahlen zu minimieren und die höchstmögliche Wiederholbarkeit in verschiedenen Implantationsläufen zu gewährleisten. Mit hochpräzisen Strahlverschiebungen ermöglicht der Monitor eine breite Palette von Energie- und Stromkombinationen, um hochpräzise Ionenimplantationsoperationen zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die E-Feldsteuerung mit hoher Bandbreite über zwei optimierte E-Feldprofile und einen variablen Polaritätsmodus für die Substratgradierung. EATON NOVA NV 3206 ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug zur Optimierung der Leistung sowohl der Produktion als auch der Prototypimplantation. Das Ionenquellendesign reduziert Ausfallzeiten und verbessert die Gesamtproduktionserträge. Es verfügt außerdem über eine trägheitsstabilisierte Strahltransportanlage, die die Strahlreinheit gewährleistet und die bildgebenden Eigenschaften des Geräts verbessert. Mit seinen integrierten Überwachungs- und Diagnosefunktionen ermöglicht der Monitor eine schnelle und genaue Rückmeldung und Analyse der Implantationsoperationen.