Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #293759187 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200 ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor, der entwickelt wurde, um die Produktionseffizienz zu steigern und die Kosten zu senken. Diese Implantatausrüstung dient zur Waferdotierung, Dünnschichtabscheidung, Ionenstrahllithographie und Trockenätzung. Es verfügt über eine zuverlässige und wartungsarme 200KV, eine automatisierte Implantatkammer, zwei Plasmakammersysteme und ein integriertes Load Lock System. Das NovaAXCELIS NV 6200 verfügt auch über eine fortschrittliche Software, die zahlreiche Benutzeroptionen und sichere Datenspeicherung bietet, die die Waferbearbeitung optimiert und Fehler verhindert. Um mit der Waferbearbeitung zu beginnen, bewegt die automatisierte Load Lock-Einheit von EATON NOVA NV 6200 einen Wafer auf die Maschinenplattform und durch eine spezielle softwaregesteuerte Vakuumsperre. Dies geschieht, um die Stabilität des Wafers zu gewährleisten und jegliche Kontamination von Partikeln zu beseitigen, die den Prozess stören können. Das Lastverriegelungswerkzeug wurde entwickelt, um mit Standard-Partikel- oder Gaspumpen zu verbinden, so dass das Gut Wafer sicher und schnell durch den Prozess bewegen kann. Das Modell geht dann an die 200KV Quelle, die mit einem Ionenstrahl eine Partikelschicht in eine Schicht des Wafers injiziert. Da sich die Partikel durch die Schicht bewegen, werden sie auch von der integrierten Monitoreinrichtung überwacht. Dieses System macht jedes Partikel aus und stellt sicher, dass alle Partikel ihr bestimmtes Ziel erreichen. Die Plasmakammern auf NV 6200 sind für die Ionenimplantation und Abscheidung ausgelegt. Die Plasmakammern weisen eine Gasabisoliereinheit auf und können für unterschiedliche Materialien auf unterschiedliche Temperaturen eingestellt werden. Die Kammer ermöglicht es Benutzern auch, die Einstellungen für Spannung, Strom und Strahlleistung anzupassen, um verschiedene Implantatkonfigurationen zu erstellen. Darüber hinaus sind die Plasmakammern mit fortschrittlichen Sicherheits- und Alarmsystemen ausgestattet, um den Ionenimplantator vor Überhitzung und anderen potenziellen Gefahren zu schützen. Schließlich verfügt EATON NOVA/AXCELIS NV 6200 über eine umfassende Software-Suite, die den Implantatprozess optimieren und Fehler reduzieren soll. Die Software umfasst Steuerungsalgorithmen, Benutzerkonten, Protokolldateien und Sicherheitseinstellungen, mit denen Benutzer den Implantatprozess anpassen können. Darüber hinaus bietet die Software eine sichere Datenspeicherung, um sicherzustellen, dass die während des Implantatprozesses erstellten Daten sicher gespeichert werden. AXCELIS NV 6200 ist eine leistungsstarke und zuverlässige Maschine, die eine effiziente und kostengünstige Möglichkeit bietet, Ionen mit Präzision und Genauigkeit in Wafer zu implantieren. Die 200KV Quelle, das automatisierte Load Lock Asset, die Plasmakammern und die fortschrittliche Software des Tools vereinfachen und reduzieren Fehler im Implantatprozess. Dies macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Einrichtung, die die Produktivität steigern und die Kontrolle über ihren Implantatprozess aufrechterhalten möchte.