Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #9013661 zu verkaufen

AXCELIS 6200 ist ein Ionenimplantator und -monitor zur Implantation von Dotierstoffen auf Halbleitersubstraten während des Halbleiterherstellungsprozesses. Dieses Gerät führt eine Ionenimplantation mit einer maximalen Dosisrate von 1,5 x 10 ^ 7 cm-2 sec-1 durch und kann verwendet werden, um eine breite Palette von Materialien zu implantieren, einschließlich Bor, Arsen, Phosphor, Aluminium und anderen Materialien. EATON NOVA 6200 ist mit einem computergestützten Steuergerät ausgestattet, das eine präzise Steuerung aller Parameter und Einstellungen ermöglicht und ein umfassendes Leistungsüberwachungssystem ermöglicht. EATON NOVA/AXCELIS 6200 besteht aus zwei miteinander verbundenen Einheiten - einer Ionenquelle und einem Beschleuniger. Die Ionenquelle ist für die Erzeugung von Ionen der gewünschten Spezies verantwortlich und kann so konfiguriert werden, dass entweder positiv geladene oder negativ geladene Ionen erzeugt werden. Der Beschleuniger wird verwendet, um die Energie der Ionen zu erhöhen, so dass sie während der Implantation tief in das Substrat eindringen können. Dieser Beschleuniger nutzt ein elektromagnetisches Feld, um die Geschwindigkeit der Ionen zu erhöhen. AXCELIS 6200 ist in der Lage, flache (weniger als 1 Mikron) und tiefe (mehr als 1 Mikron) Implantate in Substrate mit einer maximalen Dosis von 5E15 Atomen cm-2 zu implantieren. Es ist auch mit einer integrierten Kühleinheit ausgestattet, um eine lange Lebensdauer zu gewährleisten. Diese Maschine ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bei einer Zykluszeit von 50 Millisekunden zu handhaben. Es hat eine genaue Dosiseinheitlichkeitsmessung von +/- 0,5%. EATON NOVA 6200 ist auch für die Datenkommunikation konzipiert, so dass es mit dem Netzwerk des Kunden verbunden werden kann. Das Tool ist mit Windows, Macintosh und Unix Betriebssystemen kompatibel und kann auch remote überwacht werden. Der Anwender kann auf alle verfügbaren Parameter und Einstellungen zugreifen und so den Implantationsprozess vollständig steuern. Dieses Asset bietet auch eine grafische Benutzeroberfläche, die eine umfassende Überwachung und Berichte bietet. EATON NOVA/AXCELIS 6200 ist ein ausgezeichnetes Werkzeug für Anwendungen wie flache/tiefe Implantation, Kontaktlöcher und Implantate auf kleinen Wafern. Dieses Modell ist benutzerfreundlich und kann problemlos in die bestehende Fertigungslinie für die Halbleiterherstellung des Kunden integriert werden.