Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #9266104 zu verkaufen

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ID: 9266104
Wafergröße: 6"
Implanter, 6" Application: Boron (B11+) ion implant Boron (BF2) ion implant Phosphorus (P+31) ion implant Energy: 5~200 KeV Dose: ~5E14 ions / cm² Beam current boron: <700 mA Phosphorus: <1,700 mA.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200 ist ein Ionenimplantierer und -monitor, der von der Eaton Corporation, einem Unternehmen mit Halbleiterkomponenten, das sich auf die Entwicklung und Herstellung einer Vielzahl von Ionenimplantations- und -dopinggeräten spezialisiert hat, entwickelt und hergestellt wurde. AXCELIS NV 6200 ist eine hochpräzise Vorrichtung, die mit einem energetischen Ionenstrahl Dotierstoffatome wie Gallium, Bor oder Phosphor in die Materialschichten implantiert, die die Basis von Transistoren, integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Bauelementen bilden. Es liefert eine kontinuierliche Ausgabe von Dotierungsionen, um genau das gewünschte Dotierungsprofil im Material zu erzeugen. Das Ion Implanter Gerät verfügt über eine Steuerung, die die Ausgabe schnell und präzise überwachen und einstellen kann. Es kann entweder manuell oder automatisch betrieben werden, wobei der Bediener alle Parameter wie Energie, Strahlstrom, Pistolenspannung, Kammerdruck und so weiter einstellt. EATON NOVA NV 6200 ist hocheffizient und kann über längere Zeiträume bis zu 24 Stunden ununterbrochen betrieben werden. Die Maschine misst die Implantatraten in Dutzenden verschiedener Materialien, darunter Silizium, III-V-Verbindungen und mehrschichtige Substrate. NV 6200 ist mit einer Reihe von Sicherheitssystemen ausgestattet, sodass sich die Betreiber keine Sorgen um mögliche explosive oder giftige Substanzen machen müssen. Alle gängigen Sicherheitsprotokolle werden vom Gerät beachtet. EATON NOVA/AXCELIS NV 6200 unterstützt eine Vielzahl von Optionen wie Load Lock, Scanner mit variabler Achse, symmetrisches Implantat und Strahlformung, mit denen der Bediener den Winkel, die Position und das Muster der implantierten Ionen anpassen kann. Das Monitorsystem kann alle Parameter messen und Fehler mit Unterstützung für die Rückverfolgbarkeit zwischen einzelnen Komponenten anzeigen, um sicherzustellen, dass alle Parameter sicher erfüllt sind. AXCELIS NV 6200 ist ein wesentliches Werkzeug im Vorlithographieverfahren zur Herstellung mikroelektronischer Geräte. Seine präzise Steuerung und Zuverlässigkeit, kombiniert mit seiner Fähigkeit, kontinuierlich zu laufen, macht es zu einem unverzichtbaren Gerät für Produktionslinien, die zuverlässige und reproduzierbare Ergebnisse benötigen. Das vollautomatisierte Überwachungssystem stellt sicher, dass die Ergebnisse während des gesamten Prozesses genau und konsistent sind, was höhere Erträge und eine höhere Fertigungseffizienz ermöglicht.
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