Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9272603 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A ist eine fortschrittliche Ionenimplantat- und Überwachungsausrüstung für die hochpräzise Ionenimplantation. Die enthaltene Ionenquelle ist in der Lage, eine breite Palette von Dosen und Energien zu produzieren, so dass es ideal für die präzise Dotierung von Siliziumsubstraten und anderen Materialien. Die Software und Hardware des Systems bietet dem Anwender eine präzise Kontrolle über den Ionenimplantationsprozess, was sowohl eine hohe Genauigkeit als auch Wiederholbarkeit ermöglicht. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, einschließlich einer benutzerfreundlichen Oberfläche, mit der Benutzer ihren Prozess einfach einrichten und überwachen können. Es ermöglicht dem Benutzer auch, die Parameter des Implantats, wie die Strahlform, Strahlgröße und Dosis anzupassen. Darüber hinaus umfasst das Gerät Funktionen zur Überwachung des Prozesses wie einen Strahlstrommonitor, einen akkumulierten Dosismonitor und einen Prozessstatusmonitor. AXCELIS NV 6200A verfügt über eine Niedervakuum-Abscheidekammer, die ideal zum kontrollierten Implantieren geeignet ist und einen hervorragenden optischen Zugang bietet. Die Maschine kann auch mit einer Reihe von Silizium-Vorbeschichtungsmöglichkeiten konfiguriert werden, einschließlich Oxidbeschichtungen, metallorganische Beschichtungen und Foto-Resistbeschichtungen. Auf diese Weise können verschiedene Siliziumsubstrate zur Ionenimplantation verwendet werden. Für Anwender mit anspruchsvollen Prozessen umfasst das Tool auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, wie vollautomatisierte gepulste Implantate und mehrere Implantatkombinationen. Diese Funktionen bieten Anwendern mehr Kontrolle und Genauigkeit über ihren Prozess. Um sicherzustellen, dass das Asset immer mit optimaler Effizienz läuft, enthält es eine Reihe zusätzlicher Funktionen, um Kontaminationen zu minimieren und die Prozessleistung zu verbessern. Dazu gehören die reinraumkompatible Fertigung, ein automatisiertes Wafer-Handling-Modell und eine Reihe integrierter Sensoren zur Überwachung der Kammeratmosphäre. Die Sensoren überwachen und warnen die Anwender kontinuierlich auf Änderungen im Prozess und sorgen dafür, dass die Geräte so effizient wie möglich laufen. EATON NOVA NV-6200A ist ein leistungsfähiges und genaues Ionen-Implantier- und Überwachungssystem, das den Anwendern die Genauigkeit und Kontrolle bietet, die sie benötigen. Die Präzision und Zuverlässigkeit des Geräts macht es ideal für qualitativ hochwertige, wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Implantationsanwendungen. Darüber hinaus umfasst es erweiterte Funktionen und Sensoren, die eine einfache Einrichtung, Überwachung und genaue Bedienung gewährleisten.