Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 6200AV #9411903 zu verkaufen
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ID: 9411903
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2007
Medium current implanter, 6"
NESLAB Chiller
Chemicals: Phosphine, Arsine, Boron Triflouride dopants
PC Control system
Beam energies: 10-190 KeV
2007 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200AV ist ein fortschrittlicher Ionomer-Implantierer und -Monitor für die Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen und anderer hochpräziser fortschrittlicher Materialien. Diese Maschine ist in der Lage, Ionen bei hohen Stromdichten in ein Substrat zu implantieren, was zu einer präzisen Dotierung und niedrigen Gasfreisetzung führt, die Partikelfallen ausschließt. Der Implantierer verwendet eine Reihe von 25 Hochspannungszellen, die in einer invertierten Sternkonfiguration angeordnet sind, die eine präzise Bewegung und Steuerung der Ionen ermöglichen. Der Implantierer beherbergt auch ein Elektronenstrahl-Diagnosesystem, das Echtzeit-Entscheidungen über die Leistung des Implantierers ermöglicht. Dieses Werkzeug wurde mit Präzision und Genauigkeit im Auge entworfen. Das NovaAXCELIS NV 6200AV verfügt über einen hochmodernen aktiven Monitor, der Spitzen-Ionenstrom zusammen mit Implantationsdosen, Dosisverteilungen, Scanbereich und Granularität bietet und gleichzeitig Feedback-Daten zu den optimalen Implantationsbedingungen liefert. Dieses Bedienfeld bietet eine Vielzahl von Leistungsfunktionen, einschließlich Stromversorgungsstabilisierung, schnelles Spannungsrampen und Strahlstabilität. Dies ermöglicht eine präzise Ionenimplantation innerhalb eines unkritischen Prozessfensters, wodurch die Partikelverschmutzung reduziert und die mechanische Stabilität der Späne verbessert wird. Der Implantierer weist außerdem eine Hochstrom-Lastspulenanordnung mit mehreren Segmenten auf. Dies ermöglicht einen präzisen Betrieb für jede Ionenart, wodurch homogene Ionenflussflächen auch bei hohen Stromkonzentrationen entstehen. Die präzise Steuerung der Ionen gewährleistet präzise Implantate, die in jeder Schicht die erforderlichen Dotierstoffkonzentrationen erzeugen. Der Implantierer verfügt außerdem über ein eingebautes Strahlfokussiersystem, das sich mit den Implantationsbedingungen anpasst, um bestmögliche Projektionen zu gewährleisten. EATON NOVA NV 6200 AV ist ein zuverlässiger, hochentwickelter Ionomer-Implantierer und -Monitor. Es gewährleistet eine präzise und homogene Ionenimplantation und verfügt über einen beispiellosen leistungsstarken Echtzeitmonitor, der konsistente Ergebnisse ermöglicht. Dieses Werkzeug ist ein Muss für jede hochpräzise IC-Herstellung und fortschrittliche Materialherstellung.
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