Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 8200 #9409485 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200 ist eine Mehrzweck-Ionen-Implantier- und Monitorausrüstung der nächsten Generation, die für die anspruchsvollsten Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine überlegene Ionenimplantationsleistung sowie hochgenaue und zuverlässige Überwachungsfunktionen bereitzustellen. Herzstück des NovaAXCELIS NV 8200 Systems ist eine großflächige perforierte Ionenquelle (LAPIS), die eine hervorragende Ionenimplantationsleistung bietet. Der LAPIS ermöglicht einen hohen Durchsatz und eine gleichmäßige Dosis über große Flächen. Es bietet auch eine verbesserte Kontrolle der räumlichen Gleichmäßigkeit und ermöglicht eine optimierte Prozesssteuerung. Das Gerät verfügt auch über eine hochauflösende, hohe Genauigkeit Vollfeldablenker Steuermaschine, so dass der Strahl genau gelenkt werden, während die Auswirkungen der Ablenkung auf die Gesamtstrahlgleichförmigkeit minimiert. Dieses Werkzeug bietet eine verbesserte Kontrolle der räumlichen Gleichmäßigkeit und optimiert die Dosisverteilung während des gesamten Implantatprozesses. Der NovaEATON NOVA NV 8200 verfügt zudem über einen hochpräzisen Monochromator-Ionenmonitor, der eine überragende Stabilität und Genauigkeit bietet. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Implantatprozesses und bietet eine hohe Dosisgleichmäßigkeit und Kontrolle. Darüber hinaus ist die Anlage mit einer geschlossenen, temperaturgeregelten Vakuumkammer ausgestattet, die überlegene Betriebsbedingungen bietet und die Strahlgleichförmigkeit aufrechterhält. Die Kammer ist gegen Veränderungen der Umgebungstemperatur stark isoliert, wodurch Änderungen der Strahlcharakteristik minimiert werden. Darüber hinaus umfasst das Modell mehrere weitere Merkmale wie einen hochleistungsfähigen, elektrisch betätigten Höhenversteller, der eine schnelle und genaue Einstellung der Quellenhöhe ermöglicht, und einen feldeinstellbaren Strahllinienmanipulator, der eine schnelle und genaue Einstellung des Strahlwinkels und/oder des Einfallswinkels ermöglicht. Insgesamt ist NV 8200 eine überlegene, Mehrzweck-Ionen-Implantier- und Monitorausrüstung, die eine überlegene Leistung und zuverlässige Überwachungsfunktionen bietet. Seine Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für anspruchsvolle Halbleiterverarbeitungsanwendungen.