Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 8200P #293587241 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200P ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es verfügt über eine hochpräzise, DC-basierte Implantationsausrüstung mit mehreren integrierten Sensoren und Monitoren, die eine genaue und wiederholbare Ionenimplantation ermöglichen. Mit einer Vielzahl von Implantatparametern und der Fähigkeit, Prozessregeln festzulegen, ist das System so konzipiert, dass es kostengünstig überlegene Ergebnisse liefert. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche Mehrleistungsquelle mit einem beschleunigenden Spannungsbereich von 0-90 kV und bis zu 350 mA Strom, wodurch sowohl leichte Ionen wie Bor, Phosphor und Arsen als auch schwere Ionen wie Gallium, Titan und Indium implantiert werden können. Um genaue Ergebnisse zu liefern, ist es mit einer Reihe von In-situ-Monitoren und Sensoren ausgestattet, einschließlich eines breiten Abtastkanals zur Messung zeitabhängiger Profile der Implantatverteilung und Dosisrate sowie einer Temperaturfühlsonde zur Prozessstabilisierung. AXCELIS NV-8200P umfasst auch eine komplette Palette von Automatisierungs- und Steuerungsfunktionen, die eine Feinabstimmung und Optimierung von Prozessparametern ermöglichen. Zum Beispiel kann es Prozessgrenzen einstellen und überwachen, die Strahlsteifigkeit und Energien anpassen und Strahlwinkel und Nichtlinearitäten kompensieren. Es kann auch schnell die kritische Dosisrate messen sowie Bias-Fehler erkennen und korrigieren. Die Steuerungsmaschine verfügt außerdem über eine intuitive One-Touch-Benutzeroberfläche, die eine Reihe von Informationen bereitstellt, einschließlich der aktuellen Prozessbedingungen und Energieniveaus, des Werkzeugstatus und der auszuführenden Rezepte. Darüber hinaus umfasst das Asset komplette Prozessoptimierungstools zur Reduzierung von Zykluszeiten und zur Verbesserung der Produkterträge sowie eine komplette Palette von Wartungs- und Diagnosetools zur Problembehebung. Insgesamt ist EATON NOVA NV 8200 P ein fortschrittlicher und vielseitiger Ionenimplantator und -monitor, der entwickelt wurde, um präzise, wiederholbare Ergebnisse zu liefern und gleichzeitig eine robuste Prozesskontrolle zu gewährleisten. Es kommt mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und kompletten Automatisierungs- und Steuerungsfunktionen, die es ideal für Halbleiterherstellungsanwendungen machen.