Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #9361406 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV 8250 ist ein hochmoderner Ionenimplantator und Monitor, der speziell für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Dieser fortschrittliche Implantierer verwendet Gleichstrom (DC) oder gepulste DC-Ionenquellen, um eine präzise Ionenstrahlsteuerung, Präzisionsabscheidung und hohe Durchsatzleistung für moderne, handelsübliche Halbleitersubstrate bereitzustellen. Der 8250 verfügt über einen hochauflösenden, widerstandsfähigen optischen Scanner, der direkt am Implantierer montiert ist, um den Ionenstrom genau zu überwachen und zu steuern. Der Scanner hilft auch, eine hervorragende Profilkontrolle zu gewährleisten, indem er eine automatische Dosierausrüstung und eine wissensbasierte monochromatische Bildgebung verwendet. Durch die Bereitstellung von Echtzeit-Informationen über Ionenimplantattiefe und Systemleistung können Anwender in allen Prozesszyklen auf Hochleistungs-Ionenimplantatprofile und Gleichmäßigkeit geachtet werden. Der 8250 Implantierer verfügt über ein High-Flux, Low Drift Source und Ionen Source Design. Dies gewährleistet eine sehr gleichmäßige Energieverteilung bei nahezu nullem Hintergrund, was zu einer hervorragenden Profilkontrolle und Wiederholbarkeit bei der Abscheidung führt. Die Quelle ist in der Lage, über eine breite Palette von Ionen-Implantat-Energien zu arbeiten, von 50 eV bis 250 keV. Die Ionenquelle unterstützt außerdem ein zusätzliches Multi-Target-Array zur Unterstützung spezialisierter Ionisierungstechniken. Darüber hinaus bietet der 8250 Implantierer eine breite Palette von Temperaturkontrolle und Prozessüberwachung. Es verfügt über temperaturgesteuerte Kochkammern, Verdampferöfen und eine hochpräzise Temperaturregeleinheit. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Parameter im Abscheideprozess in den erforderlichen Bereichen eingehalten werden und die Substratausbeute bei der Herstellung hochwertiger Halbleiterscheiben maximiert wird. Die 8250 Maschine verfügt zudem über eine ausgeklügelte Software mit einer intuitiven Benutzeroberfläche. Auf diese Weise können Ingenieure den Implantierer auf einfache Weise für ihre spezifischen Anwendungsanforderungen sowie für die Track-Tool-Leistung programmieren. Auf Echtzeit-Feedback zu Implantattiefe, Energie und anderen Parametern kann auch über die Asset-Software zugegriffen werden. Dieser fortschrittliche Ionen-Implantierer und -Monitor wurde entwickelt, um eine effiziente und zuverlässige Lösung für die Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterscheiben bereitzustellen. Vom High-Flux, Low-Drift Source Design bis hin zur einzigartigen Temperaturregelung und Prozessüberwachung ist AXCELIS NV 8250 eine ideale Wahl für die hochmoderne Fertigung von Mikrodevices.