Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 8250HT #9366390 zu verkaufen
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ID: 9366390
Weinlese: 2000
Implanter
Vacuum system:
CTI-CRYOGENIC 9600 Cryo compressor
OB 8 Beam line cryo pump
(2) OB 8 Process cryo pumps
STP1003C Source pump
STP301C Beam line turbo pump
STP1003C Beam line turbo pump
Vacuum controller: HCIG
End-station:
Cassette capability: 2-Cassette
Wafer size: 8"
Wafer notch alignment: Automatic notch alignment capability
Wafer handling system: In-air / In-vacuum high throughput
Particle filter system: Class 1, UPLA Filtered wafer handling system
Implant angle capability:
Quad implant
Real-time beam profiler (Single dimension)
Tilt axis: 45°
Twist axis: 360°
Beam monitoring system: Real-time patented dose control
Chuck: Electro-static clamp
Chuck cooling interlock
ASYST LPT 2200 SMIF Interface
Chiller
E-Clamp
E-Shower controller and power supply unit
Flag faraday relay box
Beam profiler card include external box
DSP Motor controller
CP1 Pump
Dosimetry frame include side cup and P-Cup
Cell controller
Aligner assembly
CPU
Tx Arm include pneumatic assy
Oscilloscope
FFU
Terminal:
Four string gas box:
Gas box option: Modular gas box
High pressure string
(2) SDS String hydride: Arsine and phosphine
SDS String fluoride: Boron trifluoride
(3) Pressure transducer on SDS string (Per string): PSIA
Mass flow controller:
UNIT 1660
(3) UNIT 1662
Extraction voltage monitor: 0-40 keV
Vaporiser
Ion source: ETERNA Extended Life Source (ELS)
Source bushing: Extended life bushing
Extraction electrode: (3) Axis extraction electrode
AMU System: Triple indexed mass analysis magnet and power supply
Beam shutter
Beam line quads beam focus and scanner
P-Lens power supply: 0-68 keV
Decel power supply: 0-40 keV
Accel power supply: 0-142 keV
Terminal transformer: Oil-cooled transformer
Angular energy filter
Energy slit
Beam profiler with P-cup
Flag faraday with side cups
Cathode power supply unit
Filament power supply unit
Arc power supply unit
Source controller
(3) Turbo pump include controller / Harness
Ext electrode assy
Source and cooling flange
Source magnet power supply unit
High resolution scanner scan generator DI
AMU Power supply unit
Terminal PD DI
Beam Shutter DI: Dose DI
Terminal beam line DI: General IO DI
Gas box DI
Ground interface DI: Terminal DI
Disk thermocouple DI: TC Di
(4) IG Controllers and cables
HV Supply power supply unit
Extraction power supply unit
Quad power supply unit
Right scan amplifier
Digital tesla meter
Scan suppression power supply unit
Accel power supply unit
Decel power supply unit
AEF power supply unit
Charge control technology: E-Shower
NESLAB / AFFINITY Chiller
Control UPS
Main isolation transformer
Smoke detector
Exhaust flow switch
Water leakage sensor
Light tower
SECS I and SECS II Protocols
GEM Interface
Ethernet ports
IG and TC Gauge
2000 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 8250HT ist ein Ionenimplantator zur Herstellung von Halbleitern. Dieses Werkzeug ist ein hochenergetischer Ionenimplantator mit hohem Durchsatz und mittlerem Durchmesser. Es wird verwendet, um verschiedene Arten von Ionen in Materialsubstrate für die Herstellung von elektrischen oder elektronischen Komponenten implantieren. AXCELIS NV 8250HT ist mit einem leistungsstarken, 30 keV GaAs-erweiterten Bildschirm ausgestattet, der fokussierte Implantatprofile, einen verbesserten Substratdurchsatz und eine verbesserte Prozesssicherheit ermöglicht. Ein integrierter, hochauflösender optischer Sensor dient zur Überwachung des Ionenstrahls, um eine genaue Implantatüberwachung zu ermöglichen. EATON NOVA NV 8250 HT verfügt über ein fortschrittliches Kammersteuergerät, das eine präzise Strahlmanipulation und Ionenstrahlsteuerung ermöglicht. Diese präzise Ionenstrahlsteuerung ermöglicht sowohl die Implantation als auch die Kontrolle einer breiten Palette von Ionenarten, einschließlich Bor und Phosphor. Darüber hinaus ist NV 8250HT mit sieben austauschbaren Zielpositionen ausgestattet, um präzise Implantationsmethoden für unterschiedliche Materialien zu erhalten. Die Kammern können auch verwendet werden, um die Gleichmäßigkeit der Ionenimplantation zu erhöhen. EATON NOVA NV 8250HT nutzt ein sechsstufiges DC-Magnetstrahltransportsystem und eine 50kV Vorbeschleunigungsstufe. Es zeigt eine einheitliche, Hochspannung, Niedrigstrombalkenzähleneinheit, die genaue Kontrolle des Ionsbalkens bietet. EATON NOVA/AXCELIS NV 8250 HT verfügt zudem über eine fortschrittliche Ionenstromüberwachungsmaschine mit adaptiver Rückkopplungsschleife, die die Ionenstromwerte anpasst, um unterschiedliche Substrate und Implantatbedingungen aufzunehmen. AXCELIS NV 8250 HT wurde entwickelt, um mit einer Vielzahl von Implantatmaterialien zu arbeiten, darunter Bor, Phosphor, Arsen und Silizide. Es kann sowohl für Einzeldosis- als auch für Chargen-/kontinuierliche Dosisimplantationsanwendungen verwendet werden. Der Ionenimplantator ist mit einer FluenceMapTM Graphical User Interface (GUI) ausgestattet, die Echtzeit-Feedback zum Implantatprozess liefert und eine Echtzeit-Überwachung der Implantatzustände ermöglicht. Darüber hinaus ist NV 8250 HT für einfache Wartung und effizienten Betrieb entwickelt, die Ausfallzeiten und Wartungskosten zu reduzieren. EATON NOVA/AXCELIS NV 8250HT ist ein zuverlässiger und vielseitiger Ionenimplantator, der für eine Vielzahl von hochvolumigen und hochpräzisen Implantationsanwendungen eingesetzt werden kann. Es wurde entwickelt, um Anwendern einen präzisen und effizienten Implantationsprozess mit verbessertem Durchsatz, verbesserter Gleichmäßigkeit und verbesserter Zuverlässigkeit zu bieten.
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