Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD 200D #9268035 zu verkaufen
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ID: 9268035
Wafergröße: 6"
High current implanter, 6"
Cassette to cassette
Gases: B, AS, AR.
EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD 200D ist ein fortgeschrittenes Ionen-Implantier- und Überwachungsgerät zum Implantieren und Dotieren von Halbleitermaterialien. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, wie einem hochpräzisen integrierten Feldeinsteller, einem Thermo-Knopf-Temperaturregler im Arrhenius-Stil und einem Gasdüsenschutz, der eine genaue und effektive Dotierung gewährleistet. Das System verfügt außerdem über eine variable Energieionenquelle, um eine wiederholbare Dosierung während des gesamten Dotierungsprozesses sicherzustellen. AXCELIS NV-GSD 200D bietet eine breite Palette von Betriebsarten, die jeweils einen bestimmten Satz von Parametern enthalten, die eine genaue und präzise Kontrolle der Implantation und Dotierung der Halbleitermaterialien ermöglichen. Das Gerät verfügt zudem über eine einzigartige, zweistufige Beschleunigungsmaschine, die eine schnellere, gleichmäßigere Dosisdurchdringung ermöglicht und gleichzeitig die Kontrolle über die Beschleunigungsparameter gewährleistet. Darüber hinaus stellt die erweiterte Filament Health Monitoring und Feedback-Asset des Tools sicher, dass alle Fehlstellungen oder Schwankungen schnell erkannt und korrigiert werden. EATON NOVA NV-GSD 200D verfügt auch über integrierte Modelldatenerfassungsfunktionen, mit denen Benutzer die Dosierung und den Verlauf des Implantations-/Dopingprozesses in Echtzeit verfolgen können. Mit diesen Berichten können Anwender die Gleichmäßigkeit der Implantation, die Gesamtdosis und die Prozesszeiten leicht beurteilen und sicherstellen, dass der Prozess unter optimalen Bedingungen abgeschlossen ist. Darüber hinaus können die Einstellungen für die Datenprotokollierung an die individuellen Bedürfnisse angepasst werden, so dass große Mengen an Implantationsdaten über längere Zeit verwaltet werden können. Schließlich verfügt NV-GSD 200D über intuitive Bedienelemente. Über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche können Anwender schnell auf alle Systemparameter und -einstellungen zugreifen und diese ändern. Dies erleichtert die Bedienung der Geräte und ermöglicht es auch Anfängern, die gewünschten Implantations- und Dotierungsergebnisse zu erzielen. Insgesamt ist EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD 200D ein leistungsfähiges Implantationssystem, das Anwendern hilft, außergewöhnliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit beim Implantieren und Dotieren einer Vielzahl von Halbleitermaterialien zu erreichen. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, mit denen Benutzer die Lade-, Beschleunigungs-, Verfolgungs-, Temperatur- und Druckparameter des Prozesses sicher steuern können, was zu überlegenen, einheitlichen Ergebnissen führt. Dieses Gerät ist sehr empfehlenswert für Unternehmen, die sich auf die Präzision und Wiederholbarkeit des Implantations-/Dotierungsprozesses verlassen.
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