Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #163109 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E ist ein hochentwickelter Ionenimplantator und -monitor. Es wurde entwickelt, um eine effiziente, zuverlässige und präzise Dotierungsimplantation auf einer Vielzahl von Substraten bereitzustellen. Die Maschine nutzt eine Ionenquelle, um einen Strahl von Ionen zu erzeugen, die dann auf die gewünschte Energie beschleunigt werden. Dieser Strahl wird dann über eine Elektrode auf die entsprechenden Substrate gerichtet, wo die Dotierungsionen in das Substratmaterial implantiert werden. AXCELIS NV-GSD-200E verfügt über eine einzigartige digitale Antriebseinheit, die leistungsstarke und präzise Ionenimplantationsergebnisse liefert. Diese digitale Antriebseinheit verfügt über eine digitale Rückkopplungsschleife, die optimale Implantationsergebnisse bei minimaler „Oszillation“ des Strahls ermöglicht. Darüber hinaus kann die digitale Antriebseinheit eingestellt werden, um eine breite Palette von Implantationsenergien im Bereich von 0,5 bis 40 keV bereitzustellen. Die Maschine besteht ebenfalls aus einer robusten Überwachungseinrichtung. Der Monitor bietet Echtzeit-Updates der Dosierung und Energie jedes Implantats sowie der Substrattemperatur während des Prozesses. Dadurch kann der Anwender die Implantationsparameter einstellen, um den Implantationsprozess für optimale Ergebnisse feinjustieren zu können. EATON NOVA NV-GSD 200E verfügt über ein Vakuumsystem, das während des Prozesses eine saubere Implantationskammer unterhält. Diese Vakuumeinheit besteht sowohl aus einer Venturipumpe als auch aus einer Turbopumpe, die einen Druck von 10-6 von -9,0 bis + 9,0 inHg aufrechterhalten können. Dadurch kann die Maschine in Reinraumumgebungen der Klasse ISO 5 eingesetzt werden. Schließlich ist NV-GSD-200E durch seine redundante Sicherheits- und Steuerungsmaschine sehr sicher und zuverlässig. Dieses Tool bietet redundante Sicherheitskontrollen, Alarme und Warnsysteme, um den Benutzer auf mögliche gefährliche Bedingungen aufmerksam zu machen. Darüber hinaus ist die Maschine entwickelt, um das Potenzial für Lichtbogen oder andere Schäden an Substraten zu reduzieren und zu beseitigen. Abschließend ist NV GSD 200 E ein leistungsfähiger und zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor. Es bietet effiziente und präzise Implantationen mit seiner digitalen Antriebseinheit, während die Überwachungseinheit Echtzeit-Feedback zum Zustand des Substrats liefert. Sein robustes Vakuummodell ermöglicht den Einsatz in Reinraumumgebungen der Klasse ISO 5 und seine Redundanzfunktionen sorgen dafür, dass seine Anwender vor potenziellen gefährlichen Bedingungen geschützt sind.