Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #293586689 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293586689
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Medium current implanter, 8"
Cassette to cassette
Energy range: 180KeV
No rough pumps
Missing parts:
Flow hood
Lower machine front panels
Power supply: 208 V, 97.0 A, 50 Hz, 3 Phase
CE Marked
2004 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E ist ein hochmoderner Ionenimplantator und -monitor. Bei der Halbleiterherstellung wird ein Ionenimplantator eingesetzt, der für das Einbringen von Dotierstoffen wie Bor, Phosphor und Arsen in ein Substratmaterial verantwortlich ist, um eine gewünschte elektrische Ladung zu erzeugen. AXCELIS NV-GSD-200E Modell von AXCELIS ist für die Produktion gebaut und bietet überlegene Leistung für maximalen Durchsatz. EATON NOVA NV-GSD 200E verfügt über fortschrittliche Hochenergie-Beamline-Technologie für erhöhte Genauigkeit, verbesserte Gleichmäßigkeit und bessere Dosierungssteuerung. Dieses Ion implanter wird mit einem Mehrglühfaden Hochstromausrüstung von Cockcroft-Walton ausgestattet, die dazu fähig ist, sehr große Ströme bis zu 1000A zum Substratmaterial zu liefern. Dadurch entsteht ein gleichmäßiges, gleichmäßiges Implantatprofil über verschiedene Substrate, was zu einer besseren Leistung führt. Neben der fortschrittlichen Beamline-Technologie ist AXCELIS NV GSD 200 E mit einem genauen optischen Ausrichtsystem ausgestattet, das eine genaue Platzierung der Maske auf dem Substratmaterial ermöglicht. Dies gewährleistet einen präzisen Implantationsprozess mit minimalen Maskenfehlstellungen. Der Ionenimplantator umfasst außerdem einen dreidimensionalen Dosiskartenanalysator und eine Echtzeit-Rückkopplungsschleife, die beide eine präzise Steuerung des Ionenimplantationsprozesses während des gesamten Prozesses ermöglichen. NV-GSD-200E kommt auch mit einer eingebauten Monitoreinheit, um sicherzustellen, dass der Implantationsprozess reibungslos und effizient abläuft. Diese Überwachungsmaschine protokolliert Prozess- und Beamline-Daten und kann Fehler oder Fehlfunktionen im Ionenimplantationsprozess erkennen. Dies hilft dem Benutzer, Probleme schnell zu diagnostizieren und zu beheben, wodurch Ausfallzeiten reduziert werden. Insgesamt ist AXCELIS NV GSD 200E ein leistungsfähiger, zuverlässiger und flexibler Ionenimplantator und -monitor. Die fortschrittliche Beamline-Technologie und das optische Ausrichtungswerkzeug ermöglichen konsistente, einheitliche Implantate und eine präzise Platzierung der Maske. Sein On-Board-Monitor-Asset hilft dabei, Fehler zu erkennen und zu diagnostizieren, wodurch die Ausfallzeiten auf ein Minimum reduziert werden. AXCELIS NV GSD-200E ist die perfekte Wahl für jede Produktionsfläche, die nach überlegener Leistung, Genauigkeit und Kontrolle über den Ionenimplantationsprozess sucht.
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