Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E2 #9268106 zu verkaufen

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ID: 9268106
Wafergröße: 5"
Weinlese: 2001
High current ion implanter, 5" 2001 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E2 ist ein hochmoderner Ionenimplantator und -monitor, der eine präzise Steuerung ionischer Mikroprozesse ermöglicht. Dieses Gerät wurde für die hochpräzisen Implantate entwickelt, die für Anwendungen in der Halbleiterherstellung, der Herstellung biomedizinischer Bauelemente und der High-End-Belichtungstechnologie benötigt werden. Die GSD- 200E2 verwendet eine fortschrittliche hocheffiziente Hohlraumionenoptik und eine Hochdruck-Ionenquelle, die einen fein gesteuerten und schnellen Pulsbetrieb sowie einen hohen Durchsatz ermöglicht. Dieses Gerät umfasst auch ein modernes integriertes Monitorsystem, um die Ionenimpulseigenschaften im Verlauf des Implantats zu verfolgen. Die Rückkopplung des Geräts ermöglicht eine dynamische Steuerung des Implantats und ermöglicht hochgenaue und wiederholbare Implantate. Darüber hinaus ist der Monitor in der Lage, die Konzentration der implantierten Partikel mit Sub-Nanometer-Genauigkeit zu berechnen und zu protokollieren. Die NOVAAXCELIS GSD 200E2 arbeitet mit einer optimierten Kühlmaschine, um stabile und konsistente Implantate zu gewährleisten. Dieses Kühlwerkzeug hilft auch, die Erwärmung und den Partikelaufbau in der Kammer zu reduzieren und sicherzustellen, dass mit jeder Implantation die gewünschten Ergebnisse erzielt werden. Die Anlage ist auch mit zusätzlichen Funktionen ausgestattet, die die Sicherheit während der Implantation erhöhen sollen, einschließlich eines vollautomatischen Kammerreinigungsmodells und Hochgeschwindigkeitsmessfähigkeiten. Das Gerät verfügt zudem über ein hochpräzises Analysesystem, das Daten über eine Vielzahl von Parametern liefert. Dazu gehören kinetische Ionen-Energie sowie Energieprofildaten und Echtzeitanalysen. Die von dieser Einheit gesammelten Daten können verwendet werden, um die Prozessentwicklung zu unterstützen und Rückmeldung über den Erfolg jedes Implantats zu geben. Insgesamt bietet AXCELIS NV GSD-200E2 die präziseste Kontrolle über den Ionenimplantationsprozess. Dieser Ionen-Implantierer und -Monitor ist mit den neuesten Technologien, integrierter Überwachung und hochpräziser Analytik ausgestattet und ist somit eine ideale Lösung für Anwendungen, bei denen eine präzise Steuerung erforderlich ist.
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