Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-A-80 #9226069 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80 Ionenimplantator und Monitor ist ein hochpräzises Werkzeug zum Implantieren von Ionen in Halbleitermaterialien. Es ist eine vollautomatische Ausrüstung, die für die Einzel- oder Chargenimplantation verwendet werden kann. Das System verfügt über fortschrittliche Elektronik- und Vakuumtechnologien, die es ermöglichen, hohe Genauigkeit und Präzision aufrechtzuerhalten und gleichzeitig bis zu 80 kW Energie in einem Schuss zu liefern. Es ist eines der modernsten Implantationssysteme, die heute auf dem Markt erhältlich sind. AXCELIS NV-GSD-A-80 verfügt über eine hochmoderne Steuereinheit, die eine vollständige Kontrolle über Implantatparameter bietet, einschließlich der Energie, des elektrischen Feldes, der Ionendosisrate, des Dopingtyps und -niveaus, der Spotgröße und des progressiven Scans. Dies ermöglicht eine äußerst genaue Implantation einer Vielzahl von Materialien, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. EATON NOVA NV-GSD-A-80 verfügt auch über eine selbstjustierende Verschlussmaschine, die die manuelle Einstellung überflüssig macht. Das Tool ist zudem mit einem umfassenden, integrierten Monitoring-Asset ausgestattet, das die Wiederholbarkeit der Prozesse und wiederholbare Prozessergebnisse gewährleistet. Dieses Überwachungsmodell enthält eine Reihe von Sensoren zur Rückkopplung von Strahlintensität, Strom, Leistung, Energie, Spannung, Temperatur, Zeit und zusätzlichen Parametern. Es enthält auch eine erweiterte Überwachungs-GUI, die eine visuelle Darstellung der Parameter bietet und bei Bedarf eine schnelle Anpassung ermöglicht. Die integrierte Implantationsausrüstung ATI AXCELIS ist zudem mit einem ausgeklügelten Kühlsystem ausgestattet, das optimale Temperaturen für den Implantationsprozess beibehält. Diese Kühleinheit dient der Verbesserung der Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Implantationsprozesses und hilft, Ausfallzeiten zu reduzieren. NV-GSD-A-80 ist ein vielseitiges Werkzeug, das für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann, einschließlich Kreuzungsdoping, Kontaktdoping, epitaktische Standortdoping, Sputtern und Plattieren. Es ist auch gut geeignet für eine breite Palette von Materialien, einschließlich Silizium, Galliumarsenid, Indiumphosphid, und eine Vielzahl von anderen Materialien in der Halbleiterherstellung verwendet. Insgesamt ist EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80 ein fortschrittlicher, vollautomatischer Ionenimplantator und -monitor, der für die hochpräzise Implantation einer Vielzahl von Halbleitermaterialien ausgelegt ist. Die Maschine bietet umfassende Steuerungen, ein integriertes Überwachungswerkzeug, eine ausgeklügelte Kühlung und eine umfassende GUI für eine schnellere Datenanalyse. Dies ermöglicht wiederholbare, hochwertige Verarbeitungsergebnisse und eine verbesserte Prozesssteuerung.