Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9195914 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9195914
Wafergröße: 8"
Ion implanter, 8"
SUMITOMO EATON NOVA End station
Source / Injector region: ELS
Electrode assembly: SEN
Gas channels: Ar, BF3, PH3, AsH3
High pressure gas
Injector PD / DI
S.Control DI
Filament PS
Cathode PS(ELS)
Arc PS
Extraction HVPS
Suppression PS
Vac gauge controller
Analyzer magnet PS
Source magnet PS
Injector electronic DI
Gauss controller
S.Turbo/Controller
S.Gas control DI
Beam guide assy
Source gate valve
High voltage stack
Hall probe
Injector beamline DI
Injector Faraday
RP1 Pump
Isolation tank
Vaporizer: No
Analyzer turbo/Cont: No
Linac region:
AC PD Box
RF PS
Resonator can
Pneumatic control box (1&2)
Turbo pump: STP-H600C
Control: Yes
Cooling tube
RF Generator
FEM Control DI
Quad PS
Vacuum controller
Roughing pump (RP4)
Gauss meter / Probe: 1157450 / AXCELIS
Magnet DI
Wire harness
Quad assembly
Resolving housing region:
Electron shower assy
Gyro control DI
In-Air control DI
Loadlock control DI
Electron shower PS
Robot control DI
Cryo pump (P2,3,9)
Wire harness
Cell controller
Flag Faraday
Cryo compressor
Roughing pump (RP2)
Data link hub
Cryo on-board DI: No
End station region:
Rotary drive motor
(4) Cassette tables
Disk W/spare
Rotary drive DI
Y-scan control DI
HCIG Controller
Cassette door
Disk TC control DI
In-Air robot W/chuck
Dose control DI
Flat aligner
Dummy buffer
Vacuum cassette
Resister box
Cassette stand
Load buffer
In-Vac arm
Laminar flow hood
Clamp
Wafer holder
Sun workstation
Disk removal tool: No
Ground region:
Main PD DI
Triple loop chiller
UWX30
Oscilloscope
Smoke detector
Power cable: No
Work table: No
Sun workstation: No
(2) Laminar flow hoods
Outer door
Panels:
Loop panel
Outer enclosure panel
Lead panel
Endstation glass panel
Floor
Manual / Drawing:
Operation manual
Maintenance manual
Endstation align manual
Calibration manual
Original vendor manual
System drawing.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE ist ein Hochleistungs-Ionenimplantator und -monitor. Der Implantierer nutzt die neueste Technologie in der Implantattechnologie und bietet Anwendern hervorragende Leistung und Kontrolle beim Implantieren von Ionen. Der GSD-HE verfügt zudem über eine hochpräzise Überwachungsausrüstung, um Genauigkeit und Sicherheit zu gewährleisten. Im Zentrum von AXCELIS NV GSD steht das Implementierungssystem HE. Dieses Gerät verwendet eine hocheffiziente Ionenquelle, die Ionen auf Energien von bis zu 500 keV beschleunigen kann. Diese Energie reicht aus, um Ionen tief in die Oberfläche unterschiedlichster Materialien zu implantieren. Der Ionenimplantator verfügt auch über mehrere verschiedene Linsen, um eine präzise und gleichmäßige Implantation zu gewährleisten. Darüber hinaus ist der GSD-HE mit einem verstellbaren Verschluss ausgestattet, mit dem Benutzer die freigesetzte Ionenmenge genau steuern können. Das GSD-HE verfügt auch über eine Reihe von Überwachungssystemen. Diese Systeme wurden entwickelt, um Abweichungen in der Leistung der Maschine zu erkennen und genaue Messwerte von Implantationsparametern wie Ionenstrom, Strahlinstabilität, Verschmutzung und anderen Variablen bereitzustellen. Der Monitor zeichnet diese Werte auch in einem Echtzeitprotokoll auf, das zur zukünftigen Referenz angezeigt oder heruntergeladen werden kann. EATON NOVA NV-GSD HE ist auch in der Lage, eine Vielzahl anderer Operationen durchzuführen. Beispielsweise kann der Implantierer so programmiert werden, dass er Partikel mit bestimmten Eigenschaften zurückweist, wodurch gewünschte Zielpartikel angereichert werden können. Es hat auch die Fähigkeit, die Energie und die Implantatrate zu variieren, so dass Benutzer den Implantat an ihre spezifischen Anwendungsanforderungen anpassen können. Darüber hinaus kann das GSD-HE für verschiedene Arten der Plasmabearbeitung wie PECVD, PACVD und metalorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) eingesetzt werden. Der GSD-HE ist zudem mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Es überwacht die Leistung des Implantierers über eine Reihe von Sensoren, die jede anormale Operation erkennen. Das Werkzeug verfügt auch über eine Not-Aus-Taste, die verwendet werden kann, um das Element im Notfall schnell herunterzufahren. Abschließend ist EATON NOVA NV GSD/HE ein fortschrittlicher, äußerst zuverlässiger und vielseitiger Ionenimplantator und -monitor. Der GSD-HE bietet Anwendern außergewöhnliche Leistungsmerkmale, Präzision und Sicherheit und ist damit die perfekte Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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