Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9203805 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9203805
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
High energy ion implanter, 8"
Chamber
Extraction assy
Source isolation valve
Injector faraday assy
LINAC Chamber
Quadrupole assy
Resonator assy
Resolver faraday
E-Shower assy
P2 Cryo pump
(2) CTI Cryo compressors
End-station module:
DEXON With air circulation curtain
AXCELIS STD ATM Robot
Notch
Dummy cassette
(2) Load buffers
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Beam profile oscilloscope
Cell controller: 133
Load-lock type: GSD 100 / 200, HE
Main SUN computer SPARC station 5
Main monitor
Fiber loops
Process module:
Disk NV-GSD-200 segment type
Faraday flag
Electron shower
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Rotary drive: Direct drive
Beamline module:
HV Power supply: Advance HIVOLT
HV Stack: OL8000 / 104 / 05, 100 kV
Post ACCEL volt: Maximum 1 MeV
Extraction suppression PS
AMU: BSL
AMU: PS EMI EMS 40-150
Hall probe: AMU / FEM
LINAC System: HE STD
(10) Resonators
(2) ADVANCED ENERGY 3155038-001 RF Power supplies
(8) ADVANCED ENERGY 3155038-004
(5) Quad power supplies: GHI PS / Dual output
FEM BSL
(2) EMI EMS 30-165 FEM Power supplies
Source module:
ELS Source head
EMI EMS 10-60 Filament PS
EMI EMS 150-7 Arc PS
Cathode PS
Source magnet STD
EMI EMS 25-25 Source magnet PS
Source bushing
HE Extraction assembly
Gas box module:
Gas box type: GSD-100, 80 KV
Gas loop 1: Ar, HP
Gas loop 2: BF3, HP
Gas loop 3: AsH3, SDS
Gas loop 4: PH3, SDS
Loop 1 MFC: MKS 1179A, Ar, 5 sccm
Loop 2 MFC: MKS 1179A, N2, 10 sccm
Loop 3 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Loop 4 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Vacuum system:
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Source turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-8 Resolving cryo pump
CTI-CRYOGENICS OB-10 V3 Cryo pump
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Right)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Left)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C / Beam guide turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-250F Disk cryo pump
(4) EATON NOVA / AXCELIS 3300002
Make / Gas name / Usage / Size
SWAGELOK / CDA / Machine air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / Ar / Process Air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / PN2 / Process vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / GN2 / Purge vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / N2 / Gas box / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / SF6 / Linac / SUS Male, 3/8"
Missing parts:
Gas box DI PCB
P8 Turbo pump
Input power: 480 VAC, 3-Phase, 60 Hz, 87 kVA
Output power: 1 MeV, 1 mA
1997 vintage.
Das EatonEATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE ist ein revolutionärer Ionenimplantator und Monitor, der eine fortschrittliche Kontrolle der Ionenimplantationsprozesse ermöglicht. Dieses zuverlässige Gerät bietet eine umfassende Palette von Funktionen und Funktionen, wie die neueste Hochspannungstechnologie, fortschrittliche automatische Strahlstromüberwachung und programmierbare Endberechnung. Es wurde entwickelt, um Kosten zu reduzieren und Abfall zu minimieren, während die Implantate genau kontrolliert werden. Die höchste Leistung wird durch eine fortschrittliche elektronische Steuerung erreicht, die eine sehr zuverlässige und gleichmäßige Implantation bietet. Das Steuerungssystem verfügt über eine erweiterte Strahlstromüberwachung und eine automatische Strahlstromregelung, die die höchste Genauigkeit der Implantation bietet. Der GSD-HE verfügt zudem über einen digitalen Timer mit programmierbarer Partitionierung zur präzisen Steuerung der Implantat-Startzeit. Das GSD-HE verfügt über integrierte Sicherheitsfunktionen, um Schäden am Gerät und am Bediener zu vermeiden. Es ist mit einem Not-Aus-Knopf für Schnellabschaltung und einem externen Strahlenschild für maximalen Schutz ausgestattet. Darüber hinaus ist der GSD-HE mit einer emissionsarmen, leckagearmen Nahezu-Sättigungskonstruktion ausgelegt, um ein minimales Austritt von Material zu gewährleisten und Umweltgefahren zu reduzieren. Der EatonAXCELIS NV GSD HE ist ideal für den Einsatz in jedem industriellen Umfeld, mit seiner fortschrittlichen Steuerung, Sicherheitsfunktionen und optimiertem Design. Es liefert eine stabile Strahlstromsteuerung und eine präzise Dosisratenberechnung, die es den Betreibern ermöglicht, die vollständige Kontrolle über den Ionenimplantationsprozess zu haben. Darüber hinaus garantiert seine hochzuverlässige und gleichmäßige Implantationsleistung höchste Produktqualität. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen ist EatonEATON NOVA NV-GSD HE ein unverzichtbares Werkzeug für jede industrielle Umgebung.
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