Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSD #293637189 zu verkaufen
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ID: 293637189
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1993
High current implanter, 8"
Chamber
1993 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der entwickelt wurde, um eine hervorragende Leistung bei Ionenimplantationsanwendungen zu bieten. Mit einem optimalen Design und einem zuverlässigen Betrieb kann die GSD eine genaue und wiederholbare Implantation präziser und reproduzierbarer Dosen gewährleisten. Die GSD ist eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen, einschließlich Halbleiterbauelementherstellung, optische Materialherstellung, organische und anorganische Materialveredelung und vieles mehr. AXCELIS NV GSD verfügt über eine fortschrittliche Ionenquellensteuerung, die eine präzise und exakte Dosiskontrolle ermöglicht. Diese Steuereinrichtung bietet eine präzise Steuerung, um Strahlunvollkommenheiten zu reduzieren und die Genauigkeit zu verbessern und eine präzise und wiederholbare Implantation zu ermöglichen. Zusätzlich bietet das GSD ein hochauflösendes Wertmessgerät (HRVM), das zur Überwachung der Implantatkonzentration und zur Detektion von Störungen im Strahl verwendet wird. EATON NOVA NV-GSD bietet auch ein hohes Maß an Flexibilität und Genauigkeit durch sein integriertes Array Charging System (ACS) und Radiating Array Unit (RAS). Das ACS wurde entwickelt, um eine präzise Kontrolle der Ionenarten und -dosen zu ermöglichen, wodurch die optimalen Implantatparameter für eine verbesserte Leistung und Zuverlässigkeit ausgewählt werden können. Die RAS ist eine fortschrittliche Maschine, die genaue und wiederholbare Implantationszeiten bietet und eine genaue Kontrolle auf verschiedenen Substraten und Materialien ermöglicht. NV GSD ist mit einem Video Trigger Tool (VTR) ausgestattet, das eine Hochgeschwindigkeitsbildgebung der Raster ermöglicht. Diese Ressource gewährleistet einen präzisen und exakten Betrieb auch bei unterschiedlichen Implantationsbedingungen. Darüber hinaus ist die GSD auch mit einer benutzerfreundlichen GUI und Laufzeitoberfläche ausgestattet, die eine einfache und intuitive Bedienung ermöglicht. AXCELIS NV-GSD ist ein voll integriertes Modell mit erweiterten Funktionen wie Zusatzsteuerung, Fernbedienung und Datenprotokollierung. Dies ermöglicht eine vollständige Kontrolle der Implantationsparameter und -prozesse, einschließlich Temperaturregelung, Strahlsteuerung, Verweilzeitregelung und mehr. Die GSD ist auch erweiterbar, so dass der Benutzer das Setup an seine spezifischen Anforderungen anpassen kann. Die fortschrittlichen Fähigkeiten von NV-GSD in Kombination mit seiner außergewöhnlichen Leistung machen es zur idealen Wahl für jede Ionenimplantationsanwendung. Mit seinen leistungsstarken und zuverlässigen Eigenschaften und der überlegenen Leistung kann es auch die anspruchsvollsten Materialien zuverlässig und präzise implantieren. Für jede Anwendung, die eine präzise und wiederholbare Ionenimplantation erfordert, ist EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD die ideale Lösung.
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