Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII-90 #9059238 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII-90 ist ein Ionenimplantator und -monitor, der für hochpräzise Implantation und homogene Waferabdeckung entwickelt wurde. Es ist weit verbreitet für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Das Gerät verfügt über eine minimale Akzeptorversorgung von 90 keV, die eine optimale Genauigkeit und Gleichmäßigkeit der Ionendosierung in Bewegung bietet. Ein 100 uA bis 1mA Ionenstrahlstrombereich sorgt für eine hohe Implantationsleistung. Möglich wird dies durch die patentierte Abschirmelektronenkanone des Geräts und den automatisierten Hochtöner-Unterbrechungsmodus. Darüber hinaus stehen mehrere Strahlausrichtungsoptionen zur Verfügung, darunter 1-dimensionales, 2-dimensionales und programmierbares Scannen, das eine präzise und genaue Musterimplantation ermöglicht. AXCELIS NV GSDIII 90 verfügt über einen Echtzeit-End-of-Shot-Monitor und eine Funktion, die eine Echtzeit-Bewertung der Implantationsparameter ermöglicht. Diese Funktion hilft auch bei der Steuerung der Doppler-Verbreiterung und verbessert die Wafer-Gleichmäßigkeitsergebnisse. Der Monitor verfügt auch über Total Implant Mass (TIM) -Berechnung, so dass Benutzer Dosis- und Profilparameter optimieren und die Ergebnisse leicht überprüfen können. Das Gerät verfügt außerdem über ein automatisiertes Beschleunigersicherungssystem, einschließlich einer motorrotierenden Charge, und ein Trägheitsdämpfungssystem zur Reduzierung von Bögen und Sputtern. Zusätzlich stehen insgesamt acht unabhängige Anschlüsse zur flexiblen Unterstützung von Gasen und Prozessgasen zur Verfügung. Darüber hinaus unterstützt EATON NOVA NV-GSDIII-90 eine breite Palette von Dotierstoffen und kann bis zu 16 verschiedene Dotierungsstufen bewältigen. Es ist auch mit selbstreinigender Technologie und Grenzwertdetektoren ausgestattet, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. EATON NOVA NV GSDIII-90 ist ein zuverlässiger und hochpräziser Ionenimplantator/-monitor. Es verfügt über eine leistungsstarke 90 keV minimale Akzeptorversorgung und eine breite Palette von Verarbeitungsoptionen, so dass Benutzer homogene, hochpräzise Ergebnisse erzielen können. Die fortschrittlichen Überwachungs- und Automatisierungssysteme des Geräts sorgen für einen sicheren und effizienten Betrieb.