Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760169 zu verkaufen
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EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor ist eine High-End-Implantations- und Überwachungsausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es eignet sich für mittel- und hochdosierte Produktionsanwendungen und bietet hohe Durchsatz- und hochauflösende Dosisheterogenitäten. Das NovaAXCELIS Optima HD-System ist mit einem Hochspannungsnetzteil, einer hochoptimierten Strahlregellogik und einem mehrstufigen Strahl-Scrollgerät ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise und nicht oszillierende Kanalisierung des Ionenstrahls in einer X-Y-Ebene sowie eine Z-Achse zur Ermöglichung der Dosisgleichförmigkeit. Das Gerät verfügt zudem über eine erweiterte Kontrollrisikobewertung und eine fehlerfreie Implantationsfähigkeit, die eine hohe Prozesssicherheit bietet. Darüber hinaus bietet die NovaEATON NOVA Optima HD-Maschine eine verbesserte Implantatfähigkeit und ermöglicht eine breite Palette von Dosistiefen mit hoher Genauigkeit. Das NovaOptima HD-Tool enthält auch ein Monitor-Asset, das mehrere Funktionen enthält, die die Überwachungsgenauigkeit verbessern. Dazu gehören ein vollautomatischer Echtzeit-Strahlprofilmonitor, ein automatischer Strahlprofilmonitor mit mehreren Gittern und ein stationärer Strommonitor. Zusätzlich sind eine Vielzahl von Monitoren, wie Strahlselbstdiagnose und Vakuumlecküberwachung, in das Modell integriert. Weitere Merkmale des NovaEATON NOVA/AXCELIS Optima HD Gerätes sind ein Strahlentladesystem, das das Be- und Entladen der Implantationskammern unterstützt. Darüber hinaus bietet das Gerät eine robuste Erdungsmaschine, Hochspannungsabschaltschutzvorrichtungen, eine integrierte Sicherheitsverriegelungsüberwachung und einen integrierten Partikeldetektor. Abschließend ist AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor ein leistungsfähiges und zuverlässiges Implantat-Tool, das eine breite Palette von Funktionen bietet, um qualitativ hochwertige Implantate und eine hohe Durchsatzproduktion sicherzustellen. Das enthaltene Monitor-Asset und zusätzliche Funktionen bieten eine weitere Sicherheit der Genauigkeit und Zuverlässigkeit, während alle kostengünstig und im Einklang mit Halbleiterindustrie Standards.
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