Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9235241 zu verkaufen

EATON NOVA / AXCELIS Optima HD
ID: 9235241
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Ion implanters, 12" 2010 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor, der typischerweise in der Mikroelektronik verwendet wird. Es ist in der Lage, präzise, prozessgesteuerte Leistungsregelung, die außergewöhnliche Ionenstrahl-Gleichmäßigkeit. Es bietet mehrere Strahlquellen, die verwendet werden können, um großflächige Substrate zu implantieren, wodurch hochgleichmäßige Implantatenergie und Tiefendosen ohne Verschlechterung der Filmeigenschaften bereitgestellt werden. AXCELIS Optima HD ist ein leistungsstarker, flexibler Ionenimplantierer, der für eine Vielzahl von Anwendungen vielseitig bedient und implementiert werden kann. Es verfügt über einen Hochgeschwindigkeitsstrahl mit programmierbarer Steuerung, um präzise, gleichmäßige Dotierungsprofile für fortgeschrittene Geräte zu liefern. Es kann für alles von der Implantation von ultradicken Folien bis zu dünnen Folien für Hochgeschwindigkeitsanwendungen verwendet werden, und es kann für eine Vielzahl von Ionentyp, Energie und Dosisanforderungen optimiert werden. Das Gerät verfügt zudem über ein dynamisches Scan-System zur Implantation von großflächigen Substraten, das noch tiefere, gleichmäßigere Profile liefert. Diese Einheit ist in der Lage, große Dosen über große Bereiche mit minimalem Energieverlust zu liefern, was eine verbesserte Gleichmäßigkeit des Implantats und Tiefendosisgenauigkeit bietet. Es ermöglicht auch die Verwendung von bis zu sechs verschiedenen Quellen für die „Multikomponenten“ -Implantation mehrerer Ionentypen, was ein hohes Maß an Flexibilität und Optimierung des Ionenimplantats ermöglicht. EATON NOVA Optima HD verfügt außerdem über eine Reihe benutzerfreundlicher Funktionen, die die Wartung vereinfachen, die Verfügbarkeit erhöhen und die Produktivität verbessern. Dazu gehört eine automatisierte Maschine zur Überwachung der Primärstrahlleistung, der Strahlungsumgebungsbedingungen und des Vakuumdrucks, die gleichzeitig eine sofortige Reaktion auf Hochtemperaturvorfälle oder Rückflüsse ermöglicht. Es bietet auch ein fortschrittliches Kühlwerkzeug und eine Bewegungssteuerungstechnologie, die eine verbesserte Strahlgleichförmigkeit und Prozessleistung bei gleichzeitiger Minimierung von Ungleichgewichten gewährleisten. Optima HD ist ein optimiertes Asset für implantierte Halbleiterbauelemente und bietet zuverlässige und genaue Dosis- und Tiefenverteilungen sowie hochauflösende Bildgebung und Prozesssteuerung. Es ist eine geeignete Lösung für fortschrittliche Technologien wie MEMS, NEMS und medizinische Anwendungen und ist auf Zuverlässigkeit und Leistung ausgelegt. Dieses Modell ist eine ideale Wahl für diejenigen, die den Ertrag steigern und den Durchsatz in ihren Prozessen verbessern möchten.
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