Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9244859 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD ist ein kombinatorischer Ionenimplantator und -monitor für die Verarbeitung von Halbleitermaterialien. Dieses fortschrittliche Gerät verfügt über einen niederenergetischen Anschluss, ein Rasterelektronenmikroskop mit Fernbedienung, ein Röntgenfluoreszenzspektrometer und einen dreiachsigen Probenpositionierer. AXCELIS Optima HD ist außerdem mit einem NaI-Szintillator zur Detektion von an der Probenoberfläche emittiertem Licht sowie einem elektronenmikroskopischen Detektor zur Strommessung ausgestattet. Mit all diesen Komponenten kann EATON NOVA Optima HD präzise Dosen von Ionen in das Probenmaterial liefern. Das Low-Energy-Terminal ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die eine genaue Energiekontrolle der Strahlenergie während der Implantation ermöglichen. Diese Klemme weist auch eine Reihe weiterer Funktionen auf, wie eine Stromversorgung, eine Stromregelung, eine Temperaturregelung und eine Absperrventilsteuerung. Wie bei allen Komponenten von Optima HD wurden die Low-Energy-Terminalfunktionen auf optimale Leistung ausgelegt. Das Rasterelektronenmikroskop (SEM) ist ebenfalls mit erweiterten Funktionen ausgestattet. Es umfasst eine 5-Achsen-Steuerung und einen umfassenden Satz von Bilderzeugungssystemen, mit denen wichtige Informationen über das Probenmaterial gesammelt werden können. Es bietet auch eine breite Palette von Mustergeometrien. Zusätzlich ist das SEM mit einer computergesteuerten Steuerungsmaschine verbunden, um den Fernbetrieb zu ermöglichen. Das Röntgenfluoreszenzspektrometer gewährleistet eine genaue und präzise Kontrolle von Dotierstoffen und Verunreinigungen während des Implantationsprozesses. Es verwendet einen Linearbeschleuniger, um hochfokussierte, energiereiche Röntgenstrahlen zu erzeugen, die durch das Probenmaterial dringen und die charakteristische Energieantwort des Materials erfassen. Diese Daten werden dann gesammelt und analysiert, um eine präzise Implantation zu gewährleisten. Der dreiachsige Probenpositionierer ermöglicht eine präzise Manipulation des Probenmaterials und gewährleistet eine korrekte Positionierung für eine optimale Implantationsgenauigkeit. Es verfügt über eine präzise räumliche Steuerung der Position des Probenmaterials und kann eine Vielzahl von Probengeometrien aufnehmen. Schließlich kommt EATON NOVA/AXCELIS Optima HD auch mit einem NaI-Szintillator zur Detektion von Licht, das von der Probenoberfläche emittiert wird. Dadurch kann das Werkzeug den Implantationsprozess genau überwachen, ohne die Probe manuell überwachen zu müssen. Dies wiederum sorgt für höchste Implantationsgenauigkeit. Insgesamt ist der AXCELIS Optima HD-Ionenimplantator und -monitor ein anspruchsvolles und leistungsstarkes Kapital. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Komponenten ermöglichen eine präzise Implantation von Probenmaterialien, was letztlich eine konstante Ausbeute und zuverlässige Produktleistung gewährleistet.