Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9262050 zu verkaufen
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EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor ist ein vielseitiger Implantierer und Monitor der nächsten Generation, der zur Maximierung der Produktivität bei gleichmäßiger Strahlengleichheit, Waferqualität und Konsistenz beiträgt. Dieser Ionen-Implantierer setzt ein neues Niveau an Leistung und Zuverlässigkeit in der Halbleiterindustrie und nutzt eine innovative Kombination aus fortschrittlicher Strahltechnologie und intuitiven Software- und Hardwarefunktionen. Der Optima HX Implanter verfügt über eine proprietäre Dual-Source OptiSource™ Ionenquelle mit zwei Plasmaerweiterungen. Auf diese Weise können zwei verschiedene Arten von Ionen - entweder positiv oder negativ - gleichzeitig von jeder Quelle implantiert werden, was eine Implantation von Ionen mit höchster Produktivität ermöglicht. Diese erweiterte Quelle hat auch deutlich weniger Teile als herkömmliche Quellen, so dass es einfach zu warten und zu steuern. Die Quelle ist von einer einzigartigen Extraktionsgittertechnologie umgeben, die eine zuverlässige Extraktion von Ionen gewährleistet und eine gleichmäßige Gleichmäßigkeit über die Waferoberfläche gewährleistet. AXCELIS Optima HD Monitor bietet überlegene Überwachungsfähigkeit einschließlich Strahlstromsteuerung, Spotgrößen- und Formüberwachung und Partikelmaßmessungen. Dieser Monitor erfasst 100% der Implantat-Waferfläche und erkennt über ein einzigartiges Sehsystem etwaige Schwankungen im Implantatprozess. Dieses System verwendet eine intelligente Kamera, um Bilder von implantierten Stellen zu erfassen und die Qualität dieser Implantate zu bewerten. Der Optima HX Implantierer und Monitor wird von AXCELIS UNICUS™ Process Control Software angetrieben, die eine moderne Plattform mit ausgefeilter Analytik bietet. Diese branchenführende Software ermöglicht es Betreibern, den Status jedes Auftrags zu verfolgen und zu trennen, potenzielle Probleme zu erkennen und Korrekturmaßnahmen durchzuführen, bevor sie die Produkterträge beeinflussen. Insgesamt ist EATON NOVA Optima HD von EATON NOVA eine ideale Lösung für Halbleitergießereien, die nach erhöhter Produktivität, überlegener Implantateinheitlichkeit und verbesserter Produktqualität suchen. Dieser Implantierer und Monitor der nächsten Generation kombiniert fortschrittliche Quell- und Monitortechnologie, intuitive Steuerungssoftware und robuste Prozesssteuerungsfunktionen in einer einzigen Plattform, die es Kunden ermöglichen, schnell und zuverlässig höchste Leistung und Zuverlässigkeit in ihren Produktionslinien zu erreichen.
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