Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9311204 zu verkaufen

EATON NOVA / AXCELIS Optima HD
ID: 9311204
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
High current implanters, 12" 2007 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD ist ein hochmoderner Ionenimplantator und -monitor, der Ihren Halbleiterverarbeitungsvorgängen einen reibungslosen und effizienten Ablauf ermöglicht. Mit bis zu 60 kW offenem Feldbetrieb und einer großen Bandbreite an Strahlabtastgeschwindigkeiten kann AXCELIS Optima HD bei hohem Durchsatz hohe Implantationstiefen erreichen. Auf diese Weise können Sie komplexe Implantate durchführen, die für die Geräteleistung von entscheidender Bedeutung sind. Das patentierte Dual Beam Scanning System von EATON NOVA Optima HD ermöglicht eine präzise Strahlsteuerung, einschließlich Frequenz, Spotgröße, Leistung und Dosis. Es ist auch mit einem KI-gesteuerten TransVoltage Control System (TVCS) ausgestattet, um die Spannungsregelungen für eine optimierte Implantatsteuerung einzustellen. Durch die Anpassung der ausgewählten Implantatrezepte an die tatsächlichen Versuchsbedingungen auf dem Wafer minimiert Optima HD ausserhalb der Reichweite liegende Ionen und liefert gleichzeitig die gewünschten Rezeptergebnisse. EATON NOVA/AXCELIS Optima HD verfügt auch über eine fortschrittliche automatische Ionisierungssteuerung, die Ionen stabil hält, indem sie die während der Implantation aufgrund von Temperatur, Druck usw. auftretenden Schwankungen verfolgt und korrigiert. Es verfügt über integrierte Prozessüberwachung und Aufzeichnungen von Wafer-Produkten, die wichtiges Feedback liefern und es Ihnen ermöglichen, Prozesse besser zu steuern und zu optimieren und gleichzeitig die Effizienz zu maximieren. AXCELIS Optima HD ist mit einem hochauflösenden Monitor ausgestattet, um die Ionenimplantation in Echtzeit zu visualisieren und sicherzustellen, dass der Prozess dem angegebenen Rezept folgt. Der Monitor ermöglicht die Feinabstimmung der Implantationsparameter und liefert umfassende Daten für die statistische Prozesssteuerung. Darüber hinaus können Sie alle Implantationsfehler wie Löcher, Spitzen oder verzerrte Wellenformen leicht erkennen und Einstellungen automatisch anpassen, um sie zu korrigieren. Das EATON NOVA Optima HD wurde nach den Spezifikationen der Arbeitssicherheit entwickelt und verfügt über ein einwandfreies Sicherheitssystem mit Sicherheitsverriegelung und Nothaltetasten. Es hat auch eine wartungsfreie Ionenquelle, so dass Sie sich keine Sorgen um regelmäßige Wartungskosten oder Austauschkosten machen müssen. Optima HD verfügt auch über PTW-4GB Software, die Standard-Rezeptentwicklungstools, detaillierte Analyse und Reporting und eine intuitive Bedienoberfläche umfasst. Kurz gesagt, EATON NOVA/AXCELIS Optima HD ist ein fortschrittlicher und zuverlässiger Ionenimplantator und Monitor mit modernsten Funktionen. Es ist ideal für Halbleiterverarbeitungsvorgänge, da es eine präzise und effiziente Implantation mit optimaler Prozesssteuerung und minimalen Wartungskosten ermöglicht.
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