Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9282114 zu verkaufen
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EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX ist eine Ionenimplantat- und Monitortechnologie zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein Hochspannungs-Ionen-Implantierer mit direktem Antrieb, der entwickelt wurde, um überlegene Geschwindigkeit, Zuverlässigkeit und Genauigkeit beim Implantieren von Ionen in IC-Strukturen bereitzustellen. AXCELIS Optima HDX wird für kritische Verarbeitungsschritte im Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen wie dielektrische Schichtabscheidung, Source-Implantation und schwere Dotierung eingesetzt. EATON NOVA Optima HDX lädt dotierte Ionen aus einer Ionenquelle in einen Plasmabeschleuniger, der die Ionen dann auf hohe Energien beschleunigt und präzise auf das gewünschte Substrat leitet. Diese Source-to-Substrat-Übertragung erfolgt üblicherweise durch eine Reihe von Puls- und Sweep-Magnetlinsen, die zu einem für eine bestimmte Materialschicht optimierten schmalen Strahl führen. Optima HDX verfügt über erweiterte Steuerungsalgorithmen, die die Abscheidung außerhalb des Ziels begrenzen und die lonenstrahltrajektorie nach der Implantation steuern. Dies gewährleistet Genauigkeit und Wiederholbarkeit in der Geräteherstellung. EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX bietet auch fortschrittliche Überwachungssysteme, die den Ionenimplantatprozess messen und verfolgen können. Diese Systeme verwenden eine Vielzahl von Sensoren, wie Stromsensoren, Drucksensoren und Positionssensoren, um die Eigenschaften der Ionen und Substratschichten in Echtzeit zu messen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ionendosis, Ionengeschwindigkeit und Ionenstrahlgröße für eine bestimmte Anwendung optimiert werden. AXCELIS Optima HDX wird auf überlegene Zuverlässigkeit und Genauigkeit getestet. Seine fortschrittlichen Überwachungssysteme wurden entwickelt, um eine präzise Steuerung des Ionenstrahls zu gewährleisten und das höchste Leistungsniveau zu gewährleisten. EATON NOVA Optima HDX kann so effizient wie möglich arbeiten, um verbesserte Qualität, Durchsatz und Ertrag zu bieten. Insgesamt ist Optima HDX ein hochentwickelter und anspruchsvoller Ionen-Implantierer und -Monitor mit direktem Antrieb, der entwickelt wurde, um den Ionen-Implantat-Prozess präzise zu steuern und eine optimale Genauigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Mit seinen fortschrittlichen und optimierten Funktionen ist EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX perfekt für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung geeignet.
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