Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9355276 zu verkaufen

EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX
ID: 9355276
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Ion implanter, 12" 2014 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX ist ein Ionenimplantator und -monitor, der zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug, das sowohl eine schnelle Implantation als auch eine genaue Überwachung des Implantationsprozesses ermöglicht. Das Gerät ist mit einer proprietären Strahllinie und einem High-End-Implantationskopf kombiniert, um eine breite Palette von Implantationseigenschaften zu bieten. AXCELIS Optima HDX kann eine breite Palette von Ionenarten und Dosisbereichen produzieren, mit der Wahl der Wattzahl, pulsierender und strahlender Linienabstimmbarkeit. Dies ermöglicht eine stärkere Steuerung des Implantationsprozesses, was dem Anwender eine größere Variation der Implantationsparameter und eine produktivere Implantationssitzung ermöglicht. EATON NOVA Optima HDX verfügt über einen patentierten dreischichtigen geschlossenen Schleifenmonitor, der alle notwendigen Rückmeldungen liefert, die Implantierer benötigen, um ihre Implantationssitzungen genau zu steuern. Der Monitor ist in der Lage, Daten über die implantierten Wafer zu sammeln, und ist mit fortschrittlichen Filtern ausgestattet, um Anomalien in den Implantatparametern zu erkennen und gleichzeitig die Genauigkeit der Daten zu gewährleisten. Optima HDX umfasst auch mehrstufige Automatisierung, einschließlich Software, um eine einfache und automatische Bedienung des Systems zu ermöglichen. Das Gerät umfasst eine automatisierte Batch-Programmierung für eine große Anzahl von Wafern und eine integrierte statistische Prozesssteuerung für verbesserte Ertragsraten. Darüber hinaus umfasst die EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX Maschine eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, die die Sicherheit von Personal und Ausrüstung gewährleisten. Dazu gehört ein Sicherheitsverriegelungswerkzeug, das verhindert, dass ein Implantationsvorgang gestartet wird, sofern nicht alle Sicherheitsparameter erfüllt sind. Die Anlage umfasst auch die Selbstdiagnose zur Erkennung von Hardware- und Softwarefehlern sowie ein fortschrittliches Verschmutzungskontrollmodell, das die Verschmutzung von Partikeln in der Luft erkennt und beseitigt. AXCELIS Optima HDX ist eine leistungsstarke und äußerst zuverlässige Ausrüstung, die eine fortschrittliche Implantationskontrolle, eine breite Palette von Implantationseigenschaften und leistungsstarke Überwachungsfunktionen bietet und konsistente und zuverlässige Ergebnisse ermöglicht. Dieses System kann helfen, die Implantationserträge zu verbessern und Kosten zu senken, was es ideal für die kommerzielle Halbleiterherstellung macht.
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