Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9222810 zu verkaufen

EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE
ID: 9222810
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Implanter, 12" 2013 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE ist ein fortschrittliches Ionenimplantat und Überwachungsgerät. Es wurde entwickelt, um hochmoderne Ionenimplantationstechnologie für die Herstellung und Produktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bereitzustellen. AXCELIS Paradigm XE integriert fortschrittliche Hardware- und Softwarefunktionen, die speziell entwickelt wurden, um ein Höchstmaß an Prozesskontrolle sowie eine präzise Lieferung präziser und wiederholbarer Implantatdosen zu erreichen. Dieses System besteht aus drei Hauptmodulen - den Hochspannungsnetzteilen, dem Ionenimplantierer und dem Ionenstrahl-Monitor. Die Hochspannungsnetzteile (HVPS) sind das Herzstück der EATON NOVA Paradigm XE Einheit und sind dafür verantwortlich, die elektrische Energie zu schaffen, die notwendig ist, um Ionen im Strahl zu beschleunigen. Der Implantierer nutzt die von diesen Stromversorgungen gelieferte Energie, um einen Ionenstrahl zu erzeugen und an die Probe zu liefern, wo sie in das Substrat implantiert werden. Schließlich wird der Ionenstrahl-Monitor verwendet, um die Strahlparameter während der Implantation zu überwachen, um sicherzustellen, dass der Prozess zuverlässig und wiederholbar ist. Paradigm XE Maschine ist mit einer breiten Palette von Steuerungs- und Parametereinstellungen ausgestattet. Diese Einstellungen ermöglichen es dem Benutzer, die Ionenimplantationsparameter an die erforderliche Geräteherstellungsspezifikation anzupassen. Aspekte wie Strahlstromüberwachungsbereich, stabile Druckregelung, Einzel- oder Mehrfachanodenauswahl, Strahlleistungsregelung und Nomogrammauswahl können angepasst werden, um eine optimale Geräteherstellung zu erreichen. EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE ist zudem mit umfassenden Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um jederzeit einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Das Werkzeug wird automatisch die Strahlleistung im Falle eines Ausfalls abschalten, und die integrierte Sicherheitsbestandteil wird alle kritischen Parameter überwachen, um die Betreiber und die Ausrüstung vor möglichen Schäden zu schützen. Neben den fortschrittlichen Funktionen ist das AXCELIS Paradigm XE-Modell auch auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt. Alle Bedienelemente und Einstellungen werden auf der Konsole übersichtlich dargestellt und können mit einfachen Knopfdruck eingestellt werden. Dadurch ist die Ausrüstung für den Einsatz durch Bediener jeder Erfahrungsstufe geeignet. EATON NOVA Paradigm XE ist ein fortschrittliches Ionenimplantat- und Überwachungssystem. Es bietet Anwendern ein breites Spektrum an Steuerungs- und Parametereinstellungen sowie umfassende Sicherheitsfunktionen. Es hat auch eine intuitive Benutzeroberfläche, so dass es ideal für Bediener jeder Erfahrungsstufe. Paradigm XE ist eine ideale Wahl für die Herstellung und Produktion von fortgeschrittenen Halbleiterbauelementen.
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