Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9282115 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE ist eine Waferbearbeitungsanlage für die Ionenimplantation. Dieses System ist in der Lage, komplexe und fortschrittliche Materialien für die Halbleiterherstellung zu verarbeiten. Es kombiniert traditionelle Ionenimplantation mit selbstregulierenden Technologien für robuste Leistung. AXCELIS Paradigm XE-Einheit bietet absolute Genauigkeit und Kontrolle vom ersten Wafer bis zum letzten mit einem High-End-Monitor, so dass Benutzer schnelle und genaue Änderungen an der Maschine in Echtzeit während des Betriebs vornehmen können. EATON NOVA Paradigm XE verwendet eine Hochleistungsstrahlquelle, so dass das Werkzeug eine maximale Dosisrate von bis zu 15 kW erreichen kann. Die Quelle bietet auch außergewöhnliche Dosisgleichmäßigkeit und Homogenität über den gesamten Waferbereich, während außergewöhnliche Dosisbereiche ermöglicht. Diese Anlage verfügt über eine großflächige, zweistufige Drehklappe zur präzisen Steuerung und Anpassung der Dosisrate. Darüber hinaus wurde die Beamline von Paradigm XE entwickelt, um die Verarbeitungsgeschwindigkeit zu maximieren, die Strahlenergieverteilung zu steuern und eine breite Palette von Strahltechnologien aufzunehmen. Das integrierte Überwachungsmodell von EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE bietet Anwendern überlegene Sichtbarkeit und Genauigkeit. Es bietet ein Feedback-Steuergerät für außergewöhnliche Genauigkeit, zusammen mit einem vollautomatisierten Gas-Überwachungssystem, um Echtzeit-Feedback zu liefern und genaue Gaswerte aufrechtzuerhalten. Auch ein programmierbarer Controller kann verwendet werden, um das Gerät schnell für verschiedene Anwendungen und Materialien einzurichten. Der Regler wird auch verwendet, um sicherzustellen, dass die richtigen Bedingungen und Rezepturparameter erfüllt sind, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Schließlich bietet AXCELIS Paradigm XE erstklassige Sicherheitsmerkmale, wie beispielsweise eine vollständige Sicherheitsabschaltmaschine im Notfall. Darüber hinaus ist es mit zweistufigen Alarmen ausgestattet, um den Benutzer bei einer Werkzeugstörung oder anderen Auffälligkeiten effektiv zu warnen. Abschließend ist EATON NOVA Paradigm XE ein leistungsfähiges Ionenimplantations- und Überwachungsobjekt für die Halbleiterindustrie. Mit seiner Ausnahme von Dosisrate und Kontrolle, integriertem Überwachungsmodell und Sicherheitsfunktionen bietet Paradigm XE höchste Leistung und ist in der Lage, die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen.