Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9215196 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm ist ein modernes Ionen-Implantier- und Überwachungsgerät, das entwickelt wurde, um die Präzision und Genauigkeit bei der Verarbeitung von Wafern in der Halbleiterindustrie zu verbessern. Sie ist während des Herstellungsprozesses für die Implantation von Ionen in die Waferoberfläche verantwortlich und überwacht deren Abscheidung und Bewegung. Das System verfügt über eine hochpräzise Ionenquelle und einen Energieregler, der eine präzise Kontrolle der Eigenschaften der implantierten Schicht ermöglicht. Die Kammer ist auch mit einer Ladeblockiereinheit und einer ausgeklügelten Vakuummaschine ausgestattet, die eine effiziente Bearbeitung mehrerer Wafer in kurzer Zeit ermöglicht. Die Ionenquelle wird von einem Linearbeschleuniger angetrieben und ist in der Lage, eine Reihe von Energien zu erreichen, was zu genaueren Implantationsdosen führt. Die Quelle wird durch einen Quarzzylinder geschützt, der die Kontamination minimiert. Das Beamline-Design des Werkzeugs verwendet einen Parabolspiegel, der mit einem elektrostatischen Ablenker ausgestattet ist, um einen Zielbereich genau zu scannen. Dadurch werden präzise Implantate gewährleistet, die gleichmäßig über die Oberfläche des Wafers verteilt sind. Die Anlage ermöglicht auch eine Echtzeitüberwachung der implantierten Schicht durch die Verwendung eines Strahlpositionsüberwachers und eines Restgasanalysators. Mit diesen Messungen wird die Genauigkeit der Ionenimplantation überprüft. AXCELIS Paradigm bietet hochmoderne Präzision und Genauigkeit bei der Verarbeitung von Wafern für die Halbleiterindustrie. Es bietet eine hochpräzise Ionenquelle, zusammen mit anspruchsvollen Vakuum- und Lastschließsystemen sowie Echtzeit-Überwachungsfunktionen. Diese Eigenschaften ermöglichen eine präzise Implantation von Schichten, die gleichmäßig über die Oberfläche des Wafers verteilt sind, um genaue Ergebnisse zu gewährleisten. Das Modell ist ein wertvolles Werkzeug für diejenigen, die die Effizienz und Qualität ihrer Waferbearbeitung verbessern möchten.