Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9235773 zu verkaufen

EATON NOVA / AXCELIS Paradigm
ID: 9235773
Wafergröße: 12"
Implanter, 12".
EATON NOVA/AXCELIS Paradigm ist ein robuster und zuverlässiger Ionenimplantator und -monitor, der für eine verbesserte Ionenimplantation und Präzisionsbeschuss entwickelt wurde. Es kombiniert eine hocheffiziente und zuverlässige mittelenergetische (30-60keV) Ionenimplantationsanlage mit einem umfassenden Überwachungssystem. Es wurde entwickelt, um unerwünschte Strahlverunreinigungen zu beseitigen, Nebenproduktkammerkontaminationen zu minimieren und die Strahlbewegung zu optimieren. AXCELIS Paradigm verfügt über eine einzigartige zylindrische Implantatkammer. Diese zylindrische Kammer hat reduzierte off-axis Verunreinigungen, erhöhte Gleichmäßigkeit der Strahlintensität und verbesserte Oberflächenbehandlung der Probe. Dies ermöglicht einen präzisen Ionenbeschuss mit erhöhter Effizienz. EATON NOVA Paradigmeneinheit bietet auch eine zuverlässige und stabile Hochspannungsversorgung, die sicherstellt, dass die Probe die richtige Implantationsspannung ohne Schwankungen erhält. Die enthält eine Ionenquelle mit einer zirkularsymmetrischen Linse, die eine gleichmäßige Implantation und minimierte Strahlkontamination ermöglicht. Ein geätztes Extraktionsgitter sorgt dafür, dass die Strahlen sauber sind, und der Magnetfilter sorgt für eine weitere Strahlreinigung. Die fortschrittliche Überwachungsmaschine verwendet eine integrierte Front-End-Computeroberfläche, um Laufparameter anzuzeigen, um die Leistung des Tools zu überwachen. Dies ermöglicht Anpassungen an Implantatbedingungen, so dass das Gut die Kontrolle hat und korrekt arbeitet. Paradigm verwendet auch Gaskastenstrukturen und intelligente Vakuumfähigkeit, um Kontaminationen in der Ionenbeschusskammer zu minimieren. Das Vakuummodell kann auf den optimalen Partialdruck für verschiedene Materialien eingestellt werden und ist entscheidend für die Erzielung einer präzisen Strahlenergie. EATON NOVA/AXCELIS Paradigm ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Ionen-Implantier- und Überwachungsgerät, das eine gleichmäßige Implantation mit minimaler Kontamination ermöglicht. Seine zylindrische Kammerkonstruktion gewährleistet eine genaue Strahlpositionierung und wiederholbare Ergebnisse, während seine ausgeklügelte Überwachungsausrüstung eine Echtzeitüberwachung und Kontrolle aller Laufparameter ermöglicht. AXCELIS Paradigm ist ideal für die Mittelenergie-Ionenimplantation und bietet hervorragende Leistung bei der Präzisionsabscheidung von ultradünnen Filmen.
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