Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Purion H2 #9292991 zu verkaufen

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ID: 9292991
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
High current implanter, 12" Upgraded from Purion H (4) Load ports DI Tank N2 purge kit Invac robot 2.1 Version has been replaced as Gen4 No Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 208 VAC / 480 VAC 2015 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Purion H2 ist ein Ionenimplantator und -monitor, der für eine Vielzahl von Ionenimplantationsanforderungen entwickelt wurde. AXCELIS Purion H2 bietet optimierte Strahlgleichförmigkeit, Präzision und hervorragenden Kontaminationsschutz, um sicherzustellen, dass mehrere Implantationen auf höchstem Niveau der Wiederholbarkeit erreicht werden können. Es hat einen maximalen Eingangsstrahlstrom von 1,4 mA und ist in der Lage, eine hohe Ausgangsspannung zu erreichen, so dass es für schwere Dotierung in einer Vielzahl von Anwendungen gut geeignet ist. EATON NOVA Purion H2 ist vollautomatisiert, so dass der Anwender die Strahlparameter programmieren und überwachen kann, die während des gesamten Implantationsprozesses beliebig eingestellt werden können. Die automatisierten Funktionen umfassen die Strahlintensitätsregelung, die Einstellung der Strahlelektrodenspannung und die Auswahl des Emissionsstroms. Purion H2 ist in der Lage, eine breite Palette von Ausgangsmaterialien zu akzeptieren, einschließlich Bor, Kohlenstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Edelgase und viele mehr. Darüber hinaus ist es mit einer Konsole zur Aufnahme der Prozesssteuerungselektronik sowie einer Benutzeroberfläche zur Überwachung des Implantationsprozesses ausgestattet. Die Benutzeroberfläche ist einfach und intuitiv gestaltet, sodass Benutzer die Parameter genau und einfach anpassen können. Darüber hinaus verfügt EATON NOVA/AXCELIS Purion H2 über ein integriertes Sicherheitssystem, das eine Spritzzone und eine Schutzabdeckung umfasst, um eine Kontamination oder Beschädigung des Personals zu verhindern. Das gesamte System ist um eine hochmoderne vakuumdichte Kammer herum aufgebaut, wodurch die höchste verfügbare Implantationsrate erreicht wird. AXCELIS Purion H2 kann auch programmiert werden, um mehrere simultane Ionenimplantationen durchzuführen, was zu seiner Vielseitigkeit beiträgt. Des Weiteren ist ein integriertes Softwarepaket im Paket enthalten, das zur Analyse und Überwachung von Daten ausgelegt ist, um eine Prozessoptimierung zu ermöglichen. Abschließend ist EATON NOVA Purion H2 ein Ionen-Implantierer und -Monitor, der eine breite Palette von Funktionen bietet, darunter optimierte Strahlgleichförmigkeit, Präzision, Verschmutzungsschutz und hohe Ausgangsspannung. Auf diese Weise kann Purion H2 eine Vielzahl von Ionenimplantationsanforderungen erfüllen und bietet ein sehr wiederholbares, zuverlässiges und vielseitiges System.
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