Gebraucht INTEVAC Matrix #9294239 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9294239
Implanter
Sequential pattern implant system:
Roughing pump
DI Chiller
Electrical power distribution
Implant source chamber
Energy system
Chamber exhaust:
Toxic exhausts from implant chamber roughing pump
Safety interlock
Gas box panel cover
Minimum differential pressure
Gas over pressure
Chamber vacuum
Module:
FORTIX Wafer loader and unloader
Wafer receiving station
Wafer buffer
Load lock chamber
Implant chamber
Mask and alignment
Peripheral:
Pump
DI Chiller
Power Distribution Unit (PDU).
INTEVAC Matrix ist ein Ionenimplantator und Monitorgerät, das weltweit in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt wird. Das System dient zur präzisen, schnellen Implantation von Ionen in Dünnschicht- und Halbleiterbauelementen. Es wird auch zur Allzweck-Materialmodifizierung und Dünnschichtanalyse verwendet. Die Einheit basiert auf einem Prinzip der Ladungsteilchenbeschleunigung und implantierte Ionen werden kostbar gesteuert. Dies geschieht durch Fokussierung und Beschleunigung der Ionen auf ein Zielmaterial, wo es gestoppt und implantiert wird. Der Ionenstrahl wird präzise geformt und überwacht, um die Rasterzeit über das Ziel zu reduzieren und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu liefern. Die Maschine ist auch mit einer fortschrittlichen automatischen Strahlfokussiereinheit ausgestattet, die die Gleichmäßigkeit des Strahls über den gesamten Zielbereich gewährleistet. Es ist in der Lage, Implantationen auf Viertel-Mikron-Funktionen durchzuführen und ist auch mit den meisten Kammersystemen und Wafergrößen kompatibel. Das Tool ist auch mit erweiterten Diagnosefunktionen ausgestattet, die eine Prozess- und Dosiskontrolle sowie eine Materialprofilierung ermöglichen. Matrix verfügt über eine ausgeklügelte grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Bedienung und verbesserte Gerätegenauigkeit bietet. Es enthält auch eine Inline-Dosimetrie-Funktion, die es dem Benutzer ermöglicht, die Dosisabscheidung auf dem zu bearbeitenden Wafer in Echtzeit auszuwerten. Darüber hinaus ist die Anlage in der Lage, Temperatur und Druck zu überwachen, was eine verbesserte Prozessstabilität ermöglicht. Das Modell liefert unschlagbare Präzision in der Implantation und wurde sowohl für die Produktion als auch für die Forschung eingesetzt. Es hat eine breite Palette von Anwendungen wie zum Beispiel für die Dotierung von Halbleitern, die Umwandlung kristalliner Substanzen oder die Implantation von Dotierstoffen in Metalle. Es kann für viele verschiedene Materialien verwendet werden, einschließlich Silizium, Germanium, Galliumarsenid und Titan. INTEVAC Matrix ist ein unschätzbares Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Es bietet eine zuverlässige Methode zum Implantieren und ermöglicht gleichzeitig einwandfreie Präzision und Genauigkeit.
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