Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE LSS-20SLAT #293646283 zu verkaufen
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ID: 293646283
Ion implanter
Beam diameter: 0.68mm ± 5%
Beam divergence: 1.05mrad
Wave length: 488nm
Maximum drift: <2.0%
Minimum air flow cooling: <50cfm
Expected lifetime: >20,000
Electrical power: Up to 60W
Output power: 50mW.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT ist eine fortschrittliche Ionen-Implantat- und Monitorausrüstung, die verwendet wird, um mikrostrukturelle Veränderungen in Halbleiterbauelementen zu erzeugen. Dies wird erreicht, indem dem Material kontrollierte Mengen an Ladungsträgern (entweder Elektronen oder Ionen) zugeführt werden. Der Ionenimplantator wird typischerweise bei der Herstellung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente und integrierter Schaltungen eingesetzt. KLA LSS-20SLAT spritzt die Ladungsträger mit einem Linearbeschleuniger in das Material. Der Ionenstrahl wird dann durch ein Mehrelementmagnetsystem zu einem Strahl gleichmäßiger Energie geformt und fokussiert. Dadurch wird eine präzise Steuerung der im Material abgelagerten Energiemenge gewährleistet. Das Gerät ist in der Lage, Strahlen mit Energien im Bereich von 20-250 KeV zu produzieren. TENCOR LSS-20SLAT ist mit einem hochempfindlichen Monitor ausgestattet, der die Implantation der Ladungsträger erkennt. Dies hilft, eine genaue und präzise Dopingkontrolle zu gewährleisten. Die Maschine kann 65 verschiedene Gase erkennen, darunter Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff und andere seltene Elemente. LSS-20SLAT verfügt auch über eine fortschrittliche Niederdruck-Plasmaquelle, um die Ionenstrahl-Gleichmäßigkeit und Genauigkeit zu verbessern. Das Werkzeug ist hochflexibel und kann spezifischen Anforderungen angepasst werden. Es kann sowohl für Single-Wafer als auch für Batch-Mode-Implantation verwendet werden. THERMA-WAVE LSS-20SLAT hat eine breite Akzeptanz in der Halbleiterindustrie als der benutzerfreundlichste, genaueste und zuverlässigste verfügbare Ionenimplantator erreicht. Sie hat sich sowohl in der Serienfertigung als auch in F & E-Anwendungen bewährt. Der Vermögenswert hat sich einen beneidenswerten Ruf für Zuverlässigkeit, Genauigkeit, Flexibilität und Leistung erworben. Abschließend ist KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT ein fortschrittliches Ionenimplantat- und Monitormodell, das hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit für Forschungs- und Produktionsabläufe bietet. Die flexible Konfiguration und modernste Technologie machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Halbleiteranwendungen.
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