Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE ThermaProbe 420 #293619012 zu verkaufen
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE ThermaProbe 420 ist ein hochmoderner Ionenimplantator und Monitor zur Förderung und Steuerung einer extrem präzisen Implantation von Ionen in einem Halbleiterwafer. Die KLA ThermaProbe 420 verfügt über ein breites Spektrum an Ionen-Energiebereichen, von 50 eV bis 450 keV und einen breiten programmierten Strombereich, um eine optimale Kontrolle über den Implantations- und Überwachungsprozess zu gewährleisten. Seine hohe Leistung und Präzision ermöglichen die Implantation einer Vielzahl von Materialien in eine Reihe von Materialien, von Silizium und Siliziumdioxid über Polysilizium und Verbundhalbleitermaterialien. Das integrierte Strahlüberwachungssystem ist in der Lage, die Ionenstrahlen sehr schnell in Echtzeit zu formen, was eine bessere Kontrolle der Implantationstiefe ermöglicht und eine unglaublich hohe Präzision für Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. TENCOR THERMA-PROBE 420 verfügt zudem über einen breiten Dosisvarianzbereich von Implantat zu Implantat, der eine maximale Kontrolle der Implantatdosis auf individueller Basis ermöglicht. Seine ultraempfindlichen Ionenstrahldetektoren erkennen selbst kleinste Änderungen im Ionenstrahl und warnen den Benutzer auf jegliche Abweichungen. Der Benutzer kann auch die Strahlposition und die Strahlform einstellen, um eine gleichmäßige Implantation über alle Substrate zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglichen die erweiterten Funktionen zur Datenerfassung, -analyse und -berichterstattung Benutzern alle Informationen, die sie benötigen, um den Fortschritt ihrer Implantationsprozesse zu verfolgen. TENCOR ThermaProbe 420 ist auch mit einer Vielzahl von Strahlquellen mit unterschiedlichen Parametern wie harmonischen Frequenzen und elektrostatischen Energien sowie einer Reihe von Diagnose- und Datenerfassungsinstrumenten ausgestattet. Dies bietet Anwendern die Flexibilität, das Niveau der Implantation zu kontrollieren und den Fortschritt ihrer Implantationsprozesse zu überwachen. Es bietet auch eine Vielzahl von Möglichkeiten zur Einstellung von Strahlparametern, um eine optimale Präzision und Genauigkeit für flache und tiefe Implantate zu erreichen. Zusammenfassend ist THERMA-WAVE ThermaProbe 420 ein leistungsstarker, hochpräziser Ionenimplantator und Monitor, der für jeden Implantationsprozess ein hohes Maß an Flexibilität und Genauigkeit bietet. Die fortschrittlichen Tools zur Datenerfassung, Analyse und Berichterstattung, das integrierte Strahlüberwachungssystem sowie die Vielzahl an Strahlquellen und Diagnoseinstrumenten machen es zur perfekten Wahl für jedes hochpräzise Implantationsprojekt.
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