Gebraucht NISSIN Exceed 2000A #293775733 zu verkaufen
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ID: 293775733
Weinlese: 1999
Ion implanter
ULVAC Cryo-U8HSP Cryo pump
ULVAC Cryo-U12HSP Cryo pump
SHMADZU Turbo molecular pump
Chiller
Gases: Boron trifluoride, Arsine, Phosphine
1999 vintage.
NISSIN Exceed 2000A ist eine Hochleistungs-Ionen-Implantier- und Monitorausrüstung, die für präzise und zuverlässige Ionen-Implantationsprozesse für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche System bietet eine umfassende Reihe von Funktionen und Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, überlegene Implantationsergebnisse mit maximaler Effizienz und Genauigkeit zu erzielen. NISSIN EXCEED 2000 A ist mit einer vielseitigen Ionenquelle ausgestattet, die eine Vielzahl von Ionenarten erzeugen kann, einschließlich Bor, Phosphor, Arsen und anderen Dotierstoffen, die häufig in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Die Ionenquelle kann einfach konfiguriert werden, um die spezifischen Anforderungen verschiedener Implantationsprozesse zu erfüllen, sodass Benutzer eine präzise Kontrolle über Ionenstrahleigenschaften wie Energie, Stromdichte und Dosis erzielen können. Eine der Hauptstärken von Exceed 2000A ist das fortschrittliche Beamline-Design, das einen optimalen Ionenstrahltransport und die Fokussierung während des gesamten Implantationsprozesses gewährleistet. Das Gerät verfügt über eine Reihe von elektrostatischen und magnetischen Linsen, die helfen, Strahldivergenz zu minimieren und hohe Strahlqualität zu erhalten, was zu einer gleichmäßigen Implantation über die gesamte Zieloberfläche führt. Darüber hinaus verfügt die Strahllinie der Maschine über ausgeklügelte Diagnosewerkzeuge, die eine Echtzeitüberwachung der Strahlparameter ermöglichen und es Anwendern ermöglichen, Abweichungen von den gewünschten Implantationsbedingungen schnell zu erkennen und zu korrigieren. In Bezug auf Implantationssteuerung und Automatisierung bietet EXCEED 2000 A eine hochintuitive Benutzeroberfläche, die einen einfachen Zugriff auf eine Vielzahl von Prozessparametern und Betriebseinstellungen ermöglicht. Die Software des Tools ermöglicht es Benutzern, maßgeschneiderte Implantationsrezepte mit präziser Kontrolle über Implantationstiefe, Dosisverteilung und Implantationswinkel zu erstellen, um eine optimale Geräteleistung und -ausbeute zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglichen die Automatisierungsfunktionen des Asset eine nahtlose Integration mit anderen Prozessgeräten wie Maskenausrichtern und Wafer-Handlern, um den gesamten Herstellungsprozess zu optimieren und den Durchsatz zu verbessern. Für die Prozessüberwachung und -charakterisierung verfügt NISSIN Exceed 2000A über eine umfassende Suite von in-situ Messtechnik-Tools, mit denen Anwender Implantationsergebnisse in Echtzeit bewerten und optimieren können. Diese Werkzeuge umfassen die sekundäre Ionenmassenspektrometrie (SIMS), die Rutherford-Rückstreuspektroskopie (RBS) und die Flächenwiderstandsmessung, die es Anwendern ermöglicht, Dotierstoffverteilung, Tiefenprofile und elektrische Eigenschaften implantierter Wafer mit hoher Präzision und Genauigkeit zu beurteilen. Durch detailliertes Prozess-Feedback und Analyse helfen diese Messtechnik-Tools Anwendern, die Implantationsrezepte zu verfeinern und die gewünschten Leistungsmerkmale des Geräts zu erreichen. Insgesamt stellt NISSIN EXCEED 2000 A ein hochmodernes Ionenimplantat- und Monitormodell dar, das fortschrittliche Technologie, Präzisionssteuerung und automatisierten Betrieb kombiniert, um hervorragende Implantationsergebnisse für die Halbleiterherstellung zu liefern. Mit seiner vielseitigen Ionenquelle, seinem fortschrittlichen Beamline-Design, einer intuitiven Benutzeroberfläche und umfassenden Prozessüberwachungsfunktionen bietet Exceed 2000A eine Komplettlösung für Hochleistungs-Ionenimplantationsprozesse in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen.
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