Gebraucht NISSIN Exceed 3000 #9393124 zu verkaufen
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NISSIN Exceed 3000 ist ein Hochleistungs-Ionen-Implantierer und -Monitor, der von der NISSIN Corporation, renommierten Herstellern von Maschinen und Geräten zur Halbleiterherstellung, entwickelt wurde. Es bietet ultrapräzise Ionenimplantation von Substraten für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen, mit erweiterten Funktionen, die eine eingehende Substratanalyse und Überwachung des Implantationsprozesses ermöglichen. Die fortschrittlichen Werkzeuge der Maschine bieten dem Anwender die Möglichkeit, die Konfigurationsparameter (einschließlich Implantationsstrom, Verweildauer, Tiefe und Fließfähigkeit) der implantierenden Ionen genau und zuverlässig zu steuern und so die präziseste und effizienteste Implantation und die besten Ergebnisse zu erzielen. Herzstück von Exceed 3000 ist das modulare und anpassungsfähige Design. Es verwendet ein Mehrkammersystem, das bis zu vier Ionenquellen mit jeweils unterschiedlichen Eigenschaften aufnehmen kann, so dass der Benutzer die Implantationsoperationen anpassen und den Durchsatz und die Produktivität maximieren kann. Darüber hinaus bietet die Zelle mehrere Innovationen, die zu ihrer leistungsstarken Leistung beitragen, wie einen leistungsstarken mehrachsigen Bewegungsregler für schnelle und präzise konzentrische Drehung, ein Hochspannungs- und Hochflussstrahlfokussiersystem für optimale Ionenstrahlabtastung und eine energiereiche pneumatische Verzögerungsleitung zur optimierten Energieverteilung. NISSIN Exceed 3000 verfügt auch über mehrere fortschrittliche Überwachungs- und Analysekomponenten zur akribischen Messung und Analyse des Ionenimplantationsprozesses. Es kann während der Implantation vom Substrat emittierte Ionenrückstreuungen detektieren und überwachen, und es kann vor und nach der Implantation ein Bereich von Messungen der sekundären Ionenmassenspektrometrie (SIMS) von der Substratoberfläche genommen werden. Diese detaillierten Analysen geben Anwendern ein kritisches Feedback zum Implantationsprozess, so dass sie ihre Implantationseinstellungen entsprechend anpassen können. Darüber hinaus kann die Maschine das Tiefenprofil des Substrats mit großer Präzision messen, was eine genaue Aufzeichnung des Implantationsprozesses ermöglicht. Abschließend ist Exceed 3000 ein hochmoderner Ionenimplantator und Monitor, der beispiellose Leistung, Präzision und Kontrolle bietet. Durch ihr fortschrittliches modulares und anpassungsfähiges Design, ein fortschrittliches Strahlfokussierungssystem und umfassende Überwachungs- und Analysewerkzeuge bietet die Maschine eine umfassende Lösung und eine unschlagbare Plattform für die anspruchsvollsten Ionenimplantationsaufgaben.
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