Gebraucht NISSIN Exceed 300AH #9103092 zu verkaufen

NISSIN Exceed 300AH
ID: 9103092
Wafergröße: 8"-12"
Ion implanter, 8"-12".
NISSIN Exceed 300AH ist ein sehr vielseitiger und zuverlässiger Ionen-Implantierer und -Monitor zur Herstellung hochpräziser Halbleiterbauelemente. Es ist eine ideale Wahl für anspruchsvolle Halbleiterbauelementehersteller, da es eine hochpräzise Implantation von Lichtionen wie Bor, Phosphor und Arsen sowie schwerere Metallionen wie Kupfer, Gold und Silber durchführen kann. Exceed 300AH verfügt über Dual Mode Process Control Technology, die den Ionenimplantationsvorgang überwacht und kontrolliert, um sicherzustellen, dass die gelieferte Energie und Dosis innerhalb vorgegebener Grenzen gehalten werden. Diese Dual-Mode-Verfahrenstechnik hat auch die Fähigkeit, die Implantationsparameter zu ändern, um die Dosis gleichmäßig in Echtzeit anzupassen, wodurch eine hohe Genauigkeit und Präzision des Implantationsvorgangs gewährleistet ist. Darüber hinaus ist es mit seinem eingebauten Scan-Detektorsystem in der Lage, die Parameter für eine optimale Implantation automatisch zu erkennen und anzupassen. NISSIN Exceed 300AH hat einen modularen Aufbau, der den Anwendern die Flexibilität bietet, ihre Ionenimplantationsanlage zusammen mit einer Reihe von peripheren Komponenten zu erweitern. Zu diesen Komponenten gehören ein Zielreflektor, ein Scan-Controller, ein Ionenquellennetzteil, eine Detektortabelle und ein Niederspannungsanschluss. Darüber hinaus verfügt 300AH über ein vollständig integriertes Stromversorgungssystem, das eine stabile und zuverlässige Energie während des gesamten Implantationszyklus gewährleistet und so die Lebensdauer der Komponenten verlängert. Darüber hinaus integriert es einen Niederspannungsdetektor, der es dem Benutzer ermöglicht, den Implantationsprozess während der Implantation zu überwachen. Dadurch wird sichergestellt, dass alle abgeschiedenen Ionen in gleicher Tiefe implantiert werden, was zu einer verschärften Implantationskontrolle führt. Darüber hinaus beinhaltet NISSIN Exceed 300AH eine ausgeklügelte Diagnostik zur Optimierung der Substrattemperatur und der Partikelgleichförmigkeit. Es bietet automatische Düsenpositionierer, die eine genaue Ionenimplantation sowie einen erhöhten Ionendurchsatz durch eine einheitliche Dosis ermöglichen. Die Maschine verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Ausschlusszonen, um unbeabsichtigte Beschädigungen kritischer Komponenten durch Überdosierung oder andere hochenergetische Partikel in empfindliche Bereiche zu verhindern. Exceed 300AH wurde entwickelt, um eine exzellente Kontrolle über präzise Ionenimplantationsoperationen für eine Vielzahl von Anwendungen zu bieten, einschließlich der Implantation von Halbleiterbauelementen. Es ist ein zuverlässiges und fortschrittliches Gerät, das eine außergewöhnliche Prozesskontrolle und Genauigkeit für Ionenimplantationsoperationen bietet.
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