Gebraucht NISSIN NH-20S #293752265 zu verkaufen
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NISSIN NH-20S ist ein Ionenimplantator und Überwachungsgerät, das für die Implantation hochwertiger, hochreiner Ionen in integrierte Schaltungen und elektronische Geräteoberflächen entwickelt wurde. Es kann sowohl für die Herstellung von planaren als auch von 3D-Geräten mit Sputtertechnik verwendet werden. NH-20S bietet eine breite Palette von Optionen, wie variable Strahlspannung, Strahlstrombereich und Substratbewegung für hervorragende Prozesssteuerung. Die Beamline von NISSIN NH-20S ist optimiert, um die höchste Präzisions-Ionenimplantationsleistung zu bieten, mit Funktionen wie Abstrahlaberrationen und Bildgebung höherer Ordnung, um Substratbewegungsinduzierte Fehler zu reduzieren. Das System kann negative und positive Ionen in jeder beliebigen Mischung unterstützen und verwendet eine automatische Einstellung, um genaue Implantatdosierungen und Gleichmäßigkeit zu erhalten, auch wenn die Substratbewegungen durch externe Faktoren beeinflusst werden. NH-20S speichert automatisch die Implantatprofile der verschiedenen Schichten und verfolgt den Implantationsfortschritt im Laufe der Zeit. Darüber hinaus enthält es eine integrierte interaktive Benutzeroberfläche, die die Bedienung benutzerfreundlicher macht. Das Gerät verfügt auch über mehrere Monitorsysteme, um die Qualitätssicherung bei der Überwachung der Ergebnisse zu gewährleisten, einschließlich Ionenzählung und Rückstreuungsanalyse. NISSIN NH-20S ist mit einer breiten Palette von Ionenquellen kompatibel, einschließlich NISSIN E Turbo-Ion Implator und NISSIN AM Refining Ion Source, die für Doping- und Abscheidungsanwendungen verwendet werden können. Die Maschine unterstützt auch die Umwandlung der im Implantatprozess induzierten Wärmeenergie in elektrische Energie, wodurch eine schnelle und gleichmäßige Implantation gewährleistet ist. NH-20S eignet sich aufgrund seines Hochgeschwindigkeitsbetriebs gut für die Serienreife, kann aber auch für Sonderanfertigungen in Klein- oder Mittelserien eingesetzt werden. Das Tool ist sehr zuverlässig, mit Selbstdiagnose-Funktionen, die die Betriebsfunktion des Asset überwachen und bei Bedarf automatisch die Wartung einleiten können. Darüber hinaus sind alle Komponenten auf höchste Qualität ausgelegt, um die feinste und präziseste Ionenimplantationsspezifikation zu erreichen.
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