Gebraucht NISSIN NH 20SP EX #293603084 zu verkaufen
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ID: 293603084
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Medium current implanter, 8"
(4) Carrier cassettes
(2) Electrostatic electrocodes
Swing-arm scan mechanism
Parallel beam implantation
Dose uniformity control
In-situ parallelism and uniformity monitor
Large-tilt-angle implantation
Implantation modes: Step rotation / Angle step
1996 vintage.
NISSIN NH 20SP EX ist ein hochmoderner Ionenimplantator und Monitor von NISSIN Electric Co. Ltd. Es ist so gebaut, dass es eine zuverlässige, präzise und effiziente Strahlabdeckung von Substraten verschiedener Materialien bietet. NH 20SP EX erzeugt mit einer Hochleistungs-Elektronenkanone (HPG) Ionen, die dann zur Implantation auf Substrate beschleunigt werden. Dieser Ionenimplantator ist mit einem hochpräzisen, beleuchteten Retikel und einer motorisierten Bühne für präzise Ausrichtung, hocheffiziente zweidimensionale Abtastung und gleichmäßige Strahlabdeckung ausgestattet. Es kann eine akzeptabel breite Palette von Strahlströmen und Energien liefern, so dass es für mehrere Implantationsanwendungen geeignet ist. NISSIN NH 20SP EX verwendet einen mehrkanaligen Implantatmonitor, der drei Lambda-Dioden zur kontinuierlichen Messung von Implantatparametern umfasst. Dieser Monitor kann leicht geringfügige Änderungen der Betriebsparameter erkennen, wodurch eventuelle Unvollkommenheiten schnell kompensiert werden, um den gewünschten Implantationsprozess aufrechtzuerhalten. NH 20SP EX verfügt außerdem über ein Y-Strahlformungssystem, das die Erzeugung von sekundären Ionen verhindert. Dies erleichtert ferner eine gleichmäßige Strahlabdeckung auf Substrate beliebiger Größe. Darüber hinaus ermöglicht ein integriertes Präzisionspositioniersystem eine hochgenaue Strahlzentrierung von Substratoberflächen. Um Sicherheit und Betriebseffizienz zu gewährleisten, wird NISSIN NH 20SP EX mit geschlossenen, verriegelten Türen versehen. Diese Türen sind sowohl eine Sicherheitseinrichtung als auch ein Mittel zur Bereitstellung von Non-Stop-Service, um die Produktivität zu maximieren. Insgesamt ist NH 20SP EX ein vielseitiger, präziser und hochzuverlässiger Ionenimplantator und -monitor. Es ist mit einer breiten Palette von erweiterten Funktionen ausgestattet und ist die ideale Wahl für eine zuverlässige, präzise und schnelle Implantation von Substraten aus jedem Material.
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