Gebraucht NISSIN NH-20SR #293637187 zu verkaufen
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ID: 293637187
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Medium current implanter, 8"
Chamber
1998 vintage.
NISSIN NH-20SR ist eine Ionenimplantations- und Überwachungsanlage des japanischen Herstellers NISSIN Electric Works. Es ist mit einer hochgenauen Ionenquelle ausgestattet und hat eine maximale Strahlstromleistung von bis zu 20mA. Das System besteht aus einer mehrfachen Hochfrequenz-Ionenquelle, einer Ionenstrahl-Verlängerungsröhre, einer Doppelverschiebungsstrahlleitung, einer Hochmassenstrahlleitungseinheit für Hochenergie-Implantation, einer X-Y-Scan-Einheit, einem Hochspannungs-Mehrkanal-Netzteil, einem digitalen Eingangsregler und einem digitalen Bildschirm. NISSIN NH 20SR ist ideal für Ionenimplantation, reaktives Ionenätzen und Ionenimplantation und Beschleunigung sequentielle Prozessanwendungen. Es ist in der Lage, verschiedene Ionen wie B, He, P, Si, As und Cs bei verschiedenen Energien von niedrig bis hoch zu implantieren. Das Gerät bietet ein extrem breites Spektrum an Versorgungsspannung, bis zu 60 KV, mit einer hohen Fähigkeit der Strahlstromeinstellbarkeit. Die Mehrfachstrahlleistung ermöglicht eine hochpräzise Implantationseinstellung. NH-20SR ist ein benutzerfreundlicher Tischimplantator mit einem einzigartigen ergonomischen Design, der eine einfache Handhabung und weniger Wartung bietet. Es kann den Implantatprozess effektiv überwachen und Ergebnisse in Echtzeit, mit einem Digital Read Out Monitor, der den Strahlstrom und die Implantationsdosis anzeigt. NH 20SR kann für die Forschung und für die Herstellung von Doppel-Junction-Solarzellen, Transistoren und MEMS-Bauelementen verwendet werden. Die Maschine ist mit einem eingebetteten 3-stufigen hochgenauen Radialmagnetfeld ausgestattet, das den zu implantierenden Ionenstrahl präzise in das dünne Substrat leiten kann. Es arbeitet mit niedrigem Geräuschpegel und hat eine hohe Sammeleffizienz, die eine verringerte Beschädigung des Substrats und hohe Erträge ermöglicht. Ein weiteres bemerkenswertes Merkmal von NISSIN NH-20SR ist sein Selbstüberwachungswerkzeug, das es ermöglicht, jeden Strahlstrom/Spannungsschwankungen außerhalb des voreingestellten Bereichs sofort zu erkennen und einen Geräteherstellungsausfall zu verhindern. NISSIN NH 20SR wird aufgrund seiner fortschrittlichen Eigenschaften und Betriebssicherheit in verschiedenen High-Tech-Branchen weit verbreitet eingesetzt, um langlebige und zuverlässige Hochleistungsgeräte mit hohen Produktionserträgen zu produzieren. Seine hohe Wirtschaftlichkeit, kompakte Bauweise und einfache Wartung machen es zu einer idealen Lösung für Fertigungsanlagen, Forschungs- und Ingenieurinstitute und Universitäten.
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