Gebraucht NISSIN NH-20SR #9144958 zu verkaufen

NISSIN NH-20SR
ID: 9144958
Wafergröße: 6"
Medium current implanters, 6".
NISSIN NH-20SR ist eine zuverlässige und effiziente Ionenimplantat- und Überwachungsausrüstung, die speziell für hochpräzise Ionenimplantationsanwendungen entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um Implantatparameter effizient und genau zu überwachen, Prozessparameter automatisch zu steuern und wichtige Parameter wie die Restschädigung implantierter Siliziumscheiben genau zu messen. NISSIN NH 20SR verwendet eine Multi-Mode-Ionenquelle, die es ermöglicht, verschiedene Materialien effizient und präzise zu implantieren, die von Bor bis zu Materialien mit hoher Ordnungszahl (Z) reichen, und enthält eine Ionenoptik-Steuerung für eine präzise Strahlmanipulation. Der Ionenstrahl-Scanner der Einheit kann die Punktgröße des Ionenstrahls steuern, ohne die Ionenenergie und -dosis zu beeinflussen. NH-20SR verfügt über einen Missionscomputer, der eine automatisierte Datenerfassung, -verarbeitung und -speicherung für einen effizienten Betrieb ermöglicht. NH 20SR Werkzeug ist auch mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um Personal und empfindliche Geräte zu schützen. Es umfasst automatische Lasersicherheitsverriegelungen und einen Energie-Ionen-Detektor. Es hat auch einen aktiven Rest-Partikel-Ionen-Monitor, um auf Prozessverunreinigungen zu achten. NISSIN NH-20SR bietet mit seinen leistungsstarken Automatisierungsfunktionen eine präzise Steuerung der Implantatparameter. Dazu gehört die Möglichkeit, den Vorimplantat-Ionenstrom, die Vorimplantatstrahlenergie, den Nachimplantatstrahlstrom und die Nachimplantatstrahlenergie zu steuern. Die Anlage kann auch Implantatdosis und Modellgenauigkeit überwachen. Automatisierte Testfunktionen sind enthalten, die ein schnelles Feedback zur Prozessqualität liefern. Die Monitorsysteme von NISSIN NH 20SR bieten eine genaue und zuverlässige Überwachung der Prozessparameter des Implantats. Dazu gehört die Fähigkeit, Strahlenergie und Strom, Strahlposition, Waferstrom und Widerstand sowie Waferschäden zu messen. Darüber hinaus stehen spezielle Überwachungsfunktionen wie dosisabhängiger Rückstoßbereich, Dosisüberwachungstestanalyse und Strahltransiententestanalyse zur Verfügung. NH-20SR verfügt über leistungsstarke Datenspeicher- und Analysefunktionen, die Datenspeicherung für Implantatparameter und Batch-Datenarchivierung umfassen. Es unterstützt auch Datenanalyse und Ausstattungsüberwachung mit Echtzeit-Anzeige von Systeminformationen, Graphenmessungen und Datenanalysen. Insgesamt ist NH 20SR eine effiziente, genaue und zuverlässige Einheit zur Durchführung von Ionenimplantations- und Überwachungsprozessen in einer Vielzahl von Anwendungen. Seine erweiterten Automatisierungsfunktionen, leistungsstarke Überwachungsfunktionen und robuste Datenspeicher- und Analysefunktionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für diejenigen, die eine präzise Kontrolle und genaue Messungen für ihre Implantationsanforderungen wünschen.
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