Gebraucht NOVA T500 #9233720 zu verkaufen

NOVA T500 ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und -monitor, der zur Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Sie ist in der Lage, Ionen, die für die Herstellung integrierter Schaltungen unerlässlich sind, schnell zu implantieren. Es verwendet einen Hochspannungs- (HV) -Strahl aus Ionen, der durch eine Vakuumkammer geleitet wird, um einen Ionenstrahl zu erzeugen, der auf die Wafer gerichtet ist. Anschließend wird der Ionenstrahl auf die einzelnen Substrate fokussiert. T500 nutzt eine programmierbare Steuerung, um die Effizienz des Ionenimplantationsprozesses zu optimieren. NOVA T500 verwendet ein Abtastsystem, das den Ionenstrahl durch Scannen der Quelle und der Ziele steuert; dadurch kann der Strahl genau an verschiedene Stellen auf dem Substrat gelenkt werden. Zusätzlich ist eine Rückspeiseeinheit zur Überwachung und Steuerung der Strahlparameter wie Strahlgröße, Form, Energie und Strom integriert. Dadurch wird sichergestellt, dass der Strahl für eine genaue Materialabscheidung auf dem Substrat richtig fokussiert ist. T500 verfügt auch über eine Mehrzonenkammer, die unterschiedliche Implantationsdosen an mehreren Stellen auf dem Substrat ermöglicht. Dies ermöglicht eine feinjustierte und gleichmäßige Materialabscheidung über die gesamte Oberfläche des Substrats. Darüber hinaus verfügt NOVA T500 über eine erweiterte Ionisationskammer, die eine vollständige Ionisation der Ionenquelle vor dem Implantationsprozess ermöglicht. Dies ermöglicht eine höhere Gleichmäßigkeit und Genauigkeit des Ionenstrahls hinsichtlich seiner Parameter. T500 verfügt auch über eine spezielle Überwachungsmaschine, die die Strahlparameter und die Prozessumgebung überwacht, um jede Variation oder Anomalie zu erkennen. Darüber hinaus wird ein Echtzeit-Diagnosetool verwendet, um Probleme im Betrieb von NOVA T500 zu erkennen. Dies gewährleistet maximale Effizienz und Zuverlässigkeit während des gesamten Implantationsprozesses. T500 ist aufgrund seiner überlegenen Leistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit eine ideale Wahl für die Herstellung integrierter Schaltungen. Es bietet eine leistungsstarke und zuverlässige Plattform für die Implantation von Ionen mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus sorgt die eigene Überwachungsanlage dafür, dass der Implantationsprozess präzise und effizient durchgeführt wird und optimale Ergebnisse liefert.