Gebraucht PVA TEPLA Evolution II Twin #9354499 zu verkaufen
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ID: 9354499
Wafergröße: 4"
Scanning Acoustic Microscope (SAM), 4"
(2) OLYMPUS Transducers
(2) PCs
Operating system: Windows XP
Equipped with:
Pegasus motion controller
PVA Hilbert filter
RP H1 Remote pulser
Pulser and receiver unit.
PVA TEPLA Evolution II Twin ist ein fortschrittlicher Dual-Beam-Ionen-Implantierer und -Monitor. Dieses hochmoderne Tool bietet fortschrittliche technologische Fähigkeiten für die Ionenimplantation, -überwachung und -steuerung. PVA TEPLA Evolution Twin verfügt über eine 8 „-Endstation in voller Größe und eine 6“ -Seitenstation, die mehr Flexibilität und Durchsatz bietet. Die leistungsstarke Monitorstation ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung. Darüber hinaus sorgt die fortschrittliche Strahlausrichtausrüstung für eine hochgenaue Energie-, Strom- und Seitenprofilsteuerung. Dies führt zu einer verringerten Partikelansammlung und weniger Oberflächenverschmutzung, was eine verbesserte Gesamtprozessqualität und geringere Stillstandszeiten der Maschine ermöglicht. Evolution II Twin verwendet eine hochwertige Strahllinie mit austauschbaren Einsätzen, mit der Sie das System für optimale Leistung konfigurieren können. Die Strahllinie ist auf Flexibilität ausgelegt, für hohe Dosisraten bewertet und umfasst proprietäre lineare Scan- und Segmentierungstechniken. Es verfügt auch über schnell wechselnde Ionenquellen und robuste Quellenhalter, die innerhalb von Minuten austauschbare Quellen ermöglichen. Die fortschrittliche Material- und Geräteüberwachungseinheit bietet Ihnen Qualitätssicherung und Prozesskontrolle durch Echtzeit-Strahlstromberichte sowie automatische Strahloffline-Erkennung und Fehlerberichterstattung. Weitere Merkmale sind eine integrierte Bias-Tuning-Maschine für eine hochpräzise Steuerung auf Wafer-Ebene sowie ein Echtzeit-Sputter-Monitor, der Ionenenergie und Strahlintensität direkt überwacht. PVA TEPLA Evolution II Twin verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die mit fortschrittlichen Alarmen und Diagnosen für eine optimierte Ausrüstung und Prozessüberwachung sowie einem integrierten Datenlogging-Tool für die Rückverfolgbarkeit und Prozessausführungsdatensätze entwickelt wurde. Die einfach zu bedienende High-Level-Software bietet eine einfache Parametermanipulation und verbesserte Prozesswiederholbarkeit. Insgesamt ist Evolution II Twin ein leistungsstarkes Werkzeug, entwickelt für Flexibilität und optimiert ist Prozessqualität, Durchsatz und Zuverlässigkeit. Mit seiner fortschrittlichen Ionenlieferung, der integrierten Überwachung und Steuerung und der intuitiven Benutzeroberfläche ist es einer der führenden Ionenimplantierer und Monitore auf dem Markt.
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