Gebraucht SEN NV-10SD-160 #9181751 zu verkaufen

SEN NV-10SD-160 ist ein Ionenimplantator und Monitor, der von der Shimadzu Corporation für den Einsatz in Halbleiteranwendungen entwickelt und hergestellt wurde. Es ist eine sehr vielseitige, kostengünstige und intuitive Ausrüstung, die überlegene Leistung bei der Implantation bietet. NV-10SD-160 nutzt die VES-Technologie (Variable Energy Stripping), um durch eine Vielzahl von Zielen einheitliche Implantatprofile zu erreichen. Nach Identifizierung des Zielmaterials kann ein optimierter Ladeablauf eingestellt werden, um die Übertragungseffizienz der maximal gewünschten Dosis zu optimieren. Das System weist außerdem eine sechsachsige Ausricht- und Kompensationseinheit auf, die es ermöglicht, in allen Implantatwinkeln hochgleichmäßige Implantate herzustellen. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Inline-Post-Implantation-Diagnostik ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, die geringe Energiestabilität der Implantation zu überwachen. Das Werkzeug verfügt über einen maximalen Wirkungsgrad von 160 keV, mit einer dreistufigen Beschleunigungsspannung von 12, 42 und 160 keV. Für jede Stufe kann der Steigungswinkel von 0 bis 90 ° eingestellt werden, um Implantate in unterschiedlichen Orientierungen unterzubringen. Die mechanischen Strahlfokussierungsfähigkeiten ermöglichen jederzeit eine optimierte Strahlleistung mit einer Strahldivergenz von weniger als 0,1 mrad. Mit seinem kompakten modularen Aufbau und der hohen Leistungsfähigkeit bietet SEN NV-10SD-160 eine einfache Montage ohne großen Platzbedarf. Die Anlage bietet Kühlfunktionen, um Überhitzung und thermisch erzeugte Ionenimplantationsartefakte zu verhindern. Das Modell ist auch mit einer Vakuumdurchführung ausgestattet, die hohe Produktionsraten ermöglicht, sowie eine Vakuumausrüstung, die in der Lage ist, ein Vakuumniveau von besser als 10-7 Torr aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus ist das System mit einem ausgeklügelten Wafer-Handler ausgestattet, der eine schnelle und genaue Wafer-Positionierung sowie einen optimalen Waferdurchsatz bietet. NV-10SD-160 ist auch mit einer breiten Palette von IC-Testern und Elektronenmikroskopen kompatibel, wodurch es einfach ist, es in eine breitere Produktionslinie zu integrieren. Insgesamt ist SEN NV-10SD-160 ein leistungsstarker und vielseitig einsetzbarer Ionen-Implantierer und -Monitor, der eine hervorragende Stabilität, Steuerbarkeit und Genauigkeit bei der Implantierung von hochpräzisen und leistungsstarken Halbleiterbauelementen bietet.