Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS Disk for NV GSD-HE #293649983 zu verkaufen

ID: 293649983
Wafergröße: 8"
8".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS Disk for NV GSD-HE (GSD-HE) ist ein Ionenimplantierer und -monitor für die hochvolumige Materialbearbeitung. Es wird verwendet, um zerstäubte Partikel für eine Vielzahl von Anwendungen abzuscheiden und zu überwachen, einschließlich Halbleiterherstellung, mikroelektronische Geräteproduktion und Ionenimplantation. Der GSD-HE verfügt über einen hochentwickelten resistiven Rückkopplungs-Ionenimplantator, der aufgrund seines optimierten Gerätedesigns einen extrem präzisen Betrieb erzielt. Das System verwendet eine J-förmige Ionenquelle für eine schnelle, genaue und effiziente Implantation des Materials, unabhängig von seiner Größe, Form oder Heterogenität. Der GSD-HE verwendet auch eine fortschrittliche Substratunterstützung, die eine dreidimensionale Substratsteuerung sowie einen hochauflösenden „Window“ -Monitor bietet, der es dem Benutzer ermöglicht, die Ablenkung des Ionenstrahls im Laufe der Zeit zu beobachten. Das GSD-HE verfügt auch über Hochleistungs-optische Detektoren, die eine äußerst genaue Messung und Kontrolle des zu implantierenden oder abgeschiedenen Materials ermöglichen. Der Detektor besteht aus einer hochauflösenden CCD-Kamera, begleitet von einem vakuumdichten optischen Verschluss, mit dem die Form des Ionenstrahls sowie dessen Kontrast überwacht wird. Das Gerät verfügt außerdem über einen hochpräzisen Drucksensor, der eine hochgenaue Gasflussregelung ermöglicht, einen effizienteren Betrieb ermöglicht und den Durchsatz verbessert. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Wärmebildeinrichtung, mit der die Temperatur des Werkzeugs exakt bestimmt wird, was zu seiner Stabilität beiträgt. Das GSD-HE verfügt über einen innovativen 3D-Cutter, der komplexe topographische Strukturen, wie 3D-erhöhte Muster, mit Mikromaskenauflösung ermöglicht. Dies ist eine einzigartige Eigenschaft der Anlage, die es ermöglicht, hochvolumige, mehrschichtige Materialien, die unterschiedliche Implantationsmaterialien auf mehreren Ebenen erfordern, effizient zu verarbeiten. Im Betrieb bewegt der 3D-Fräser das Zielsubstrat entlang der X-, Y- und Z-Achse und kann die Tiefe und Form jeder Implantationsschicht genau anpassen. Darüber hinaus kann das Gerät sehr kleine Bauteile, wie sie in der mikroelektronischen Baugruppe verwendet werden, präzise handhaben, was ein wichtiger Vorteil für die hochpräzise Materialbearbeitung ist. Das GSD-HE verfügt über eine außergewöhnlich große Steuerungs- und Datenverarbeitungskapazität und eignet sich somit für großvolumige Materialprozesse und komplexe topographische Strukturen. Es verfügt über eine hochfähige 64-Bit-CPU, die mehr als 20,5 Tera-Operationen (TOPS) an Verarbeitungsleistung für die Hochgeschwindigkeitsdatenverarbeitung mit hoher Genauigkeit sowie einen Hochgeschwindigkeitsspeicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM) und 16 GB Flash-Speicher bereitstellt. Dieses hocheffiziente Modell verfügt auch über einen Ethernet-Port, IEEE1394 und zwei USB-Ports, die eine Verbindung zum Internet und anderen externen Geräten ermöglichen - was eine effiziente Datenkommunikation, Übertragung und Speicherung von Informationen ermöglicht. Insgesamt ist SEN Disk für NV GSD-HE ein einzigartig fortschrittlicher Ionen-Implantierer und -Monitor, der hochpräzise und komplexe Materialprozesse wie 3D-erhöhte Muster und mikroelektronische Baugruppen ermöglicht. Sein hochpräzises und durchsatzstarkes Gerätedesign macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für große Materialbearbeitungsanwendungen, so dass Benutzer außergewöhnlich genaue und zuverlässige Ergebnisse erzielen können.
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