Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-80 #293636198 zu verkaufen

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80 ist ein hocheffizienter und präziser Ionenimplantator und -monitor. Es ist entworfen, um die Herstellung von Halbleiterbauelementen einfach und genau zu machen. SEN NV-GSD-80 basiert auf zwei wesentlichen Prozessen: Strahlabtastung und Rotation. Das erste Verfahren, das Strahlscannen, wird verwendet, um Ionen in den Wafer zu implantieren, während das zweite Verfahren, die Rotation, verwendet wird, um den Wafer zu drehen und eine gleichmäßige Abdeckung auf dem Substrat aufrechtzuerhalten. AXCELIS NV-GSD-80 ist mit einer breiten Palette von Balkendurchmessern von 20mm bis 1150 mm gebaut. Dies ermöglicht eine präzise Kontrolle der Dosisrate und des Winkelbereichs der implantierten Partikel. Dadurch wird sichergestellt, dass die gewünschte Implantation erreicht wird, ohne dass das Substrat beschädigt wird. NV-GSD-80 ist mit einer Stromversorgung ausgestattet, die bis zu 120kV aufnehmen kann. Der Generator ist in der Lage, Hochspannung zu erzeugen, die Spitzenströme von bis zu 2A erreicht. Dies ermöglicht eine präzise Implantation einer Vielzahl von Ionen wie Phosphor, Bor, Kohlenstoff und Sauerstoff. Der Monitor von SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 wurde entwickelt, um die Dosis und den Strom, der dem Wafer zugeführt wird, kontinuierlich zu überwachen. Es hat zwei Hauptkomponenten: Puls-Timer und Photomultipler-Röhre. Der Impulszeitgeber erzeugt kontinuierliche digitale Signale, die Informationen über das Strahlintensitätsfeld und die Dosis an jeder Position auf dem Substrat liefern. Die Photomultiplerröhre detektiert Lichtimpulse, die während des Ionenimplantationsprozesses erzeugt werden. Diese Informationen werden gesammelt und analysiert und geben Feedback zum Implantationsprozess. SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80 wurde entwickelt, um eine hochwertige Implantation ohne Beschädigung des Substrats zu liefern. Dies wird durch die Verwendung seiner leistungsfähigen Stromversorgung, Strahlabtastung und Rotation Prozess, und genau überwacht Dosis und Stromzufuhr erreicht. SEN NV-GSD-80 ist zudem einfach zu bedienen und ermöglicht eine präzise Anpassung des Implantationsprozesses. Dies alles macht es zu einer idealen Option für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.