Gebraucht SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9245969 zu verkaufen

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE ist eine fortschrittliche Ionen-Implantier- und Monitorausrüstung für die High-End-Halbleiter-Wafer-Verarbeitung. Es bietet hochpräzise Implantation und effiziente Überwachungsfunktionen für Ultra-High-End-Produkte. Der GSD-HE-Ionenimplantator ist kompakt und dennoch äußerst leistungsstark und bietet eine hochpräzise Implantation auf niederohmige Substrate. Es ist mit einer Reihe von proprietären Technologien ausgestattet, darunter automatisches Nivellieren, präzise Umdrehungsrate und automatisierte Prozessüberwachung, die einen optimalen Waferdurchsatz liefern. Seine fortschrittlichen Vakuumabgasanlagen ermöglichen langfristiges Arbeiten mit minimalem Eingriff des Bedieners. Die dreidimensionalen Scan- und Optimierungsfunktionen ermöglichen eine feinabgestellte Präzisionsimplantation auf jeder Oberfläche. Der GSD-HE kann für eine Vielzahl von Implantationsanforderungen verwendet werden, von tiefen und vorzentralisierten Implantaten bis hin zu flachen und peripheren Implantaten. Es kann auch zur ultra-niederohmigen Schichtbildung und gleichförmigen Dotierung mit niedriger thermischer Diffusion verwendet werden. Seine fortschrittlichen Ionisierungsmethoden ermöglichen es, auch bei komplexen und komplizierten Geometrien eine atemberaubende Prozessausbeute und -qualität zu erreichen. Das GSD-HE Monitorsystem wurde entwickelt, um Dosis, Ionenstrom, Strahlgröße und Position, Partikelenergie, Partikelzufuhrrate und andere Prozessparameter mit hoher Genauigkeit und Präzision zu messen. Es überwacht kontinuierlich sowohl die Implantat- als auch die Transistorcharakteristik, um Rückmeldung über den ordnungsgemäßen Betrieb der Implantat- und Monitoreinheit zu geben. Dies sorgt für optimale Verarbeitungsleistung und Waferqualität. Der ausgeklügelte Temperaturregler des GSD-HE soll sicherstellen, dass die Implantattemperaturen nie die empfohlenen Werte überschreiten, was das Risiko von Problemen im Zusammenhang mit der Übertemperaturimplantation minimiert. Seine einzigartigen stigmatischen magnetischen Linsen ermöglichen eine präzise Bildgebung mit minimaler Aberration, die eine genaue Implantationstiefe und eine korrekte Ausrichtung der Strahlengröße gewährleistet. Die GSD-HE ist eine unglaublich fortschrittliche Implantier- und Monitormaschine, die präzise Implantate und eine effiziente Überwachung für Ultra-High-End-Wafer bietet. Seine integrierten Technologien kombinieren, um den Prozess schneller, reibungsloser und effizienter als je zuvor zu machen.